集成型PCR芯片的研究
| 摘要 | 第1-8页 |
| 第一章 前言 | 第8-16页 |
| 1.生物芯片的意义与发展 | 第8-12页 |
| ·生物芯片的主要类型 | 第8-11页 |
| ·生物芯片技术的意义 | 第11-12页 |
| 2.BIO-MEMS技术 | 第12页 |
| 3.PCR芯片概述 | 第12-14页 |
| 4.本论文结构和内容简介 | 第14-16页 |
| 第二章 PCR芯片的研究现状 | 第16-24页 |
| 1.传统的PCR扩增器件 | 第16-18页 |
| 2.国内外微型热电模型的研究概况 | 第18-23页 |
| 3.小结 | 第23-24页 |
| 第三章 PCR芯片的结构设计 | 第24-34页 |
| 1.热电效应基本原理 | 第24-26页 |
| 2.热电层的主要性能参数 | 第26-27页 |
| 3.材料的选择 | 第27-29页 |
| ·PCR芯片的材料的选择 | 第27-28页 |
| ·测温传感器的材料选择 | 第28页 |
| ·热电材料的选择 | 第28-29页 |
| 4.PCR芯片结构设计 | 第29-31页 |
| 5.热电层性能参数计算 | 第31-33页 |
| 6.小结 | 第33-34页 |
| 第四章 PCR芯片的制造工艺 | 第34-43页 |
| 1.MEMS器件加工技术 | 第34-36页 |
| ·MEMS器件平面加工技术 | 第34-35页 |
| ·MEMS器件的体加工技术 | 第35-36页 |
| 2.PCR芯片的制造工艺 | 第36-42页 |
| ·硅片清洗 | 第37-38页 |
| ·LPCVD法沉积氮化硅层 | 第38-39页 |
| ·电阻温度传感器和金属电极的制备 | 第39-40页 |
| ·热电薄膜的制备 | 第40-41页 |
| ·PCR反应室的湿法腐蚀 | 第41-42页 |
| 3.小结 | 第42-43页 |
| 第五章 PCR芯片测试与分析 | 第43-49页 |
| 1.热电控温层制备结果 | 第43-44页 |
| 2.热电薄膜成分分析 | 第44-47页 |
| 3.芯片测试 | 第47-48页 |
| 4.小结 | 第48-49页 |
| 第六章 结论 | 第49-52页 |
| 1.集成型PCR芯片研究的特点 | 第49-50页 |
| ·集成型PCR芯片的结构设计 | 第49页 |
| ·PCR芯片的MEMS工艺实现 | 第49-50页 |
| 2.集成型PCR芯片研究的创新点 | 第50-51页 |
| ·基于MEMS技术设计制作 | 第50页 |
| ·反应器、热电控温层和测温传感器单片集成 | 第50页 |
| ·微结构Peltier控温层 | 第50-51页 |
| 3.PCR芯片研究的进一步工作 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 发表文章目录 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56页 |
