基于频闪成像的MEMS-DMs动静态特性测试

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
1 绪论	第8-14页
·课题来源	第8页
·选题意义及背景	第8-9页
·MEMS 动静态特性测试技术研究现状及发展趋势	第9-14页
2 基于MEMS 技术的可变形反射镜（DMS）	第14-23页
·可变形反射镜的工作原理	第14页
·可变形反射镜的发展	第14-17页
·可变形反射镜性能评价指标及特点	第17-18页
·一种新型的可变形反射镜	第18-22页
·本章小结	第22-23页
3 MEMS-DMS 三维静态形貌测量	第23-37页
·DMS 静动态特性测量的尝试	第23-25页
·相移干涉技术	第25-27页
·去包裹算法研究	第27-36页
·本章小结	第36-37页
4 MEMS-DMS 三维动态测量原理	第37-51页
·三维运动测量原理	第37-40页
·离面运动测试系统	第40-45页
·系统误差分析	第45-50页
·本章小结	第50-51页
5 可变形反射镜动静态特性测量实验	第51-56页
·反射镜静态形貌的测量	第51-53页
·反射镜动态特性的测量	第53-54页
·本章小结	第54-56页
6 总结与展望	第56-58页
致谢	第58-59页
参考文献	第59-63页
附录1 攻读学位期间发表论文目录	第63-64页
附录2 攻读学位期间发明专利及参加的课题	第64页