CVD/CVI氧化硅设备研制及工艺机理探索
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-27页 |
| ·透波材料 | 第10-11页 |
| ·天线罩的选材原则 | 第11-12页 |
| ·天线罩的发展过程 | 第12-15页 |
| ·石英陶瓷的改性研究 | 第15-19页 |
| ·纤维增强石英玻璃复合材料 | 第15-16页 |
| ·晶须和颗粒增强石英玻璃复合材料 | 第16-17页 |
| ·石英玻璃基复合材料应用中存在的问题 | 第17-19页 |
| ·纤维增韧二氧化硅基复合材料的制备方法 | 第19-24页 |
| ·浆料浸渍结合热压法 | 第19页 |
| ·硅溶胶循环浸渍法 | 第19-20页 |
| ·化学气相沉积法 | 第20-24页 |
| ·CVI的原理和优点 | 第20-22页 |
| ·CVI技术的分类 | 第22-24页 |
| ·研究目的 | 第24页 |
| ·研究内容 | 第24页 |
| 参考文献 | 第24-27页 |
| 第2章 实验设备研制 | 第27-44页 |
| ·设备的基本要求 | 第27-29页 |
| ·试样尺寸 | 第27页 |
| ·实验温度 | 第27-28页 |
| ·反应气和载气的流量 | 第28页 |
| ·先驱体的控制温度范围 | 第28页 |
| ·真空要求 | 第28页 |
| ·设备的原理 | 第28-29页 |
| ·设备设计的过程和规范 | 第29-35页 |
| ·真空设计的选材要求 | 第29-31页 |
| ·结构材料选材 | 第29-31页 |
| ·密封材料选择 | 第31页 |
| ·真空系统的连接要求 | 第31-34页 |
| ·永久性密封连接 | 第31-32页 |
| ·柔性连接 | 第32-33页 |
| ·密封圈连接 | 第33-34页 |
| ·密封垫连接 | 第34页 |
| ·除尘器 | 第34-35页 |
| ·真空的度量 | 第35页 |
| ·真空系统的检漏 | 第35-37页 |
| ·漏气性质判断 | 第35-36页 |
| ·漏气点判定 | 第36-37页 |
| ·试验前的真空检验 | 第37页 |
| ·反应室的功率设计和温度场 | 第37-40页 |
| ·电炉理论功率 | 第37-39页 |
| ·工作状态下的温度场 | 第39-40页 |
| ·真空泵的抽速选择 | 第40-41页 |
| ·实验设备的检验和改进 | 第41-42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-44页 |
| 第3章 CVD SiO_2工艺与机理 | 第44-55页 |
| ·实验过程 | 第44-46页 |
| ·先驱体的选择 | 第44-46页 |
| ·CVD工艺参数 | 第46页 |
| ·测试分析方法 | 第46页 |
| ·实验结果及分析讨论 | 第46-54页 |
| ·乙烯基三乙氧基硅烷CVD SiO_2的结果分析 | 第46-50页 |
| ·沉积温度对沉积产物显微结构的影响 | 第46-50页 |
| ·挥发温度对沉积速率的影响 | 第50-54页 |
| ·小结 | 第54页 |
| 参考文献 | 第54-55页 |
| 第4章 CVI SiO_2工艺与机理 | 第55-77页 |
| ·实验过程 | 第55-58页 |
| ·增强纤维的选择 | 第55页 |
| ·界面材料选择 | 第55-56页 |
| ·CVI工艺参数 | 第56页 |
| ·预制体制备 | 第56-57页 |
| ·测试分析方法 | 第57-58页 |
| ·CVI结果及沉积过程分析 | 第58-67页 |
| ·CVI沉积物形貌分析 | 第58-60页 |
| ·复合材料力学性能 | 第60-62页 |
| ·复合材料的密度和气孔率 | 第62页 |
| ·增重与时间的关系 | 第62-64页 |
| ·复合材料中氧化硅梯度分析 | 第64-66页 |
| ·影响渗透的因素分析 | 第66-67页 |
| ·试样的介电性能分析 | 第67-74页 |
| ·高温处理对纤维相组成的影响 | 第67-69页 |
| ·碳对介电性能的影响及除碳的方法 | 第69-74页 |
| ·小结 | 第74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 第5章 CVI SiO_2渗透性分析 | 第77-85页 |
| ·CVI闭气孔成因分析 | 第77-78页 |
| ·瓶颈效应产生的必然性 | 第78-79页 |
| ·工艺参数对沉积过程的影响 | 第79-84页 |
| ·增强骨架 | 第79-80页 |
| ·温度 | 第80页 |
| ·炉压 | 第80-81页 |
| ·气体流量 | 第81-82页 |
| ·纤维预制体与气流夹角对致密化的影响 | 第82-84页 |
| ·小结 | 第84页 |
| 参考文献 | 第84-85页 |
| 结论 | 第85-86页 |
| 附录1 攻读学位期间发表的学术论文 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 西北工业大学学位论文知识产权声明书 | 第88页 |
| 西北工业大学学位论文原创性声明 | 第88页 |
