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MOSFET中近零介电常数的产生和表面等离激元模式特性

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第9-25页
    1.1 引言第9页
    1.2 近零介电常数材料第9-12页
    1.3 表面等离激元模式和近零介电常数模式第12-16页
    1.4 ENZ的实现方式和应用第16-23页
    1.5 本论文的主要研究内容及章节安排第23-25页
2 线性掺杂半导体材料中近零介电常数的产生及对电磁模式的影响第25-33页
    2.1 引言第25页
    2.2 半导体材料的复介电常数模型第25-26页
    2.3 线性掺杂三层Si平板中复介电常数分布和近零介电常数的产生第26-28页
    2.4 线性掺杂Si三层平板中的电磁模式第28-32页
    2.5 本章小结第32-33页
3 MOSFET的电子调控机理和复介电常数分布第33-51页
    3.1 引言第33页
    3.2 MOSFET的能带结构及载流子调控机理第33-42页
    3.3 MOSFET中复介电常数的分布及近零介电常数的产生第42-50页
    3.4 本章小结第50-51页
4 MOSFET结构中的表面等离激元模式第51-69页
    4.1 引言第51页
    4.2 MOSFET结构中的电磁模式第51-56页
    4.3 MOSFET结构中近零介电常数对电磁场分布的影响第56-62页
    4.4 MOSFET结构中混合表面等离激元模式的局域特性第62-67页
    4.5 本章小结第67-69页
5 总结与展望第69-73页
    5.1 总结第69-71页
    5.2 展望第71-73页
致谢第73-74页
参考文献第74-79页
附录一:攻读学位期间发表论文目录第79-80页
附录二:论文中数值计算所用参数值第80页

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