| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-12页 |
| 第1章 引言 | 第12-30页 |
| ·选题背景介绍 | 第12-15页 |
| ·光子集成技术研究进展 | 第15-20页 |
| ·光子集成器件用基础材料 | 第15-17页 |
| ·光子集成器件制作的关键技术 | 第17-19页 |
| ·光子集成器件的发展应用 | 第19-20页 |
| ·单片集成宽带可调谐半导体激光器研究进展 | 第20-26页 |
| ·可调谐半导体激光器的调谐机理 | 第21页 |
| ·单片集成宽带可调谐半导体激光器研究进展 | 第21-26页 |
| ·论文的主要研究内容及成果 | 第26-28页 |
| ·论文的组织结构 | 第28-30页 |
| 第2章 单片光子集成器件的MOCVD对接生长工艺研究 | 第30-49页 |
| ·本章引论 | 第30-31页 |
| ·不同功能波导单元之间的单片集成技术 | 第31-35页 |
| ·选择区域生长技术 | 第31-32页 |
| ·偏移量子阱技术与双量子阱技术 | 第32-33页 |
| ·量子阱混杂技术 | 第33页 |
| ·非对称双波导技术 | 第33-34页 |
| ·对接生长技术 | 第34-35页 |
| ·有源/无源波导的MOCVD 对接生长工艺研究 | 第35-44页 |
| ·MOCVD 系统简介 | 第35-37页 |
| ·MOCVD 对接生长工艺流程 | 第37-39页 |
| ·MOCVD 对接生长的对接界面优化 | 第39-41页 |
| ·MOCVD 对接生长的外延材料质量 | 第41-44页 |
| ·有源/无源对接波导的内部损耗与对接界面的反射 | 第44-48页 |
| ·集成无源波导—FP 激光器与对接波导的内部损耗 | 第44-45页 |
| ·对接波导的内部损耗测试 | 第45-47页 |
| ·对接波导界面的反射测试 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第3章 单片光子集成器件的微结构刻蚀工艺研究 | 第49-68页 |
| ·本章引论 | 第49-50页 |
| ·微结构制作中的刻蚀工艺 | 第50-53页 |
| ·湿法腐蚀工艺 | 第51-52页 |
| ·干法刻蚀工艺 | 第52-53页 |
| ·低损伤 ICP 干法刻蚀参数优化 | 第53-60页 |
| ·低损伤ICP 干法刻蚀参数优化 | 第53-58页 |
| ·1.55μm InGaAsP DFB 半导体激光器的制作 | 第58-60页 |
| ·波导横向限制结构 | 第60-67页 |
| ·脊形波导的工艺流程 | 第61-63页 |
| ·1.3μm AlGaInAs 超辐射发光二极管的制作 | 第63-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第4章 SGDBR可调谐半导体激光器的设计与制作 | 第68-99页 |
| ·本章引论 | 第68-69页 |
| ·有源区材料设计 | 第69-75页 |
| ·量子阱有源区的结构设计 | 第69-74页 |
| ·量子阱有源区的外延生长与性能表征 | 第74-75页 |
| ·调谐区材料设计 | 第75-79页 |
| ·调谐区的材料选择与结构设计 | 第75-77页 |
| ·调谐区材料的调谐能力测试 | 第77-79页 |
| ·横向限制结构设计 | 第79-82页 |
| ·有源/无源波导的光场限制因子 | 第79-81页 |
| ·有源/无源波导的重叠积分 | 第81-82页 |
| ·SGDBR 腔镜结构设计与参数优化 | 第82-93页 |
| ·SGDBR 的基本原理 | 第83-85页 |
| ·SGDBR 腔镜结构设计与参数优化 | 第85-93页 |
| ·SGDBR 可调谐半导体激光器的制作与性能测试 | 第93-98页 |
| ·器件制作的工艺流程 | 第93-94页 |
| ·器件的性能测试 | 第94-98页 |
| ·本章小结 | 第98-99页 |
| 第5章 SGDBR可调谐半导体激光器动态特性的理论研究 | 第99-117页 |
| ·本章引论 | 第99-100页 |
| ·模拟分析方法的理论模型 | 第100-107页 |
| ·有源区的时域行波法 | 第100-101页 |
| ·无源光栅区的传输矩阵法 | 第101-103页 |
| ·数字滤波器方法的引入 | 第103-107页 |
| ·理论模型与传输矩阵法相比的有效性 | 第107-112页 |
| ·SGDBR 可调谐半导体激光器动态特性研究 | 第112-116页 |
| ·本章小结 | 第116-117页 |
| 第6章 结论 | 第117-120页 |
| ·论文研究工作总结 | 第117-118页 |
| ·需要进一步开展的工作 | 第118-120页 |
| 参考文献 | 第120-128页 |
| 致谢 | 第128-129页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第129-130页 |
