| 中文摘要 | 第1页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 引言 | 第7-16页 |
| ·课题研究背景 | 第7-8页 |
| ·钝化理论 | 第8-12页 |
| ·吸附理论 | 第10-11页 |
| ·成相膜理论 | 第11-12页 |
| ·钝化膜结构及性能 | 第12-16页 |
| ·钝化膜结构 | 第12-14页 |
| ·钝化膜的性能 | 第14-16页 |
| ·半导体 | 第14页 |
| ·钝化膜性能 | 第14-16页 |
| 第二章 实验部分 | 第16-27页 |
| ·实验的理论基础 | 第16-23页 |
| ·钝化膜半导体理路基础 | 第16-19页 |
| ·半导体/溶液界面 | 第16-17页 |
| ·空间电荷区的积累层，耗尽层和反型层 | 第17-19页 |
| ·电化学阻抗谱理论（EIS） | 第19-23页 |
| ·阻纳导论 | 第19-20页 |
| ·等效电路 | 第20-23页 |
| ·等效电路法的优缺点 | 第23页 |
| ·实验方法 | 第23-27页 |
| ·实验材料及溶液 | 第23-24页 |
| ·试样制备 | 第24-25页 |
| ·低温水中试样制备 | 第24页 |
| ·高温水中试样制备 | 第24-25页 |
| ·实验仪器 | 第25页 |
| ·电化学测量步骤 | 第25-27页 |
| 第三章 电容测量结果及分析 | 第27-37页 |
| ·低温水中制备的试样的测量结果及分析 | 第27-33页 |
| ·SO_4~(2-)对实验结果影响 | 第27-30页 |
| ·Zn~(2+)离子浓度对钝化膜Mott-Schottky 曲线的影响 | 第30-31页 |
| ·试样制备温度对钝化膜Mott-Schottky 曲线的影响 | 第31页 |
| ·能带结构参数计算 | 第31-33页 |
| ·高温下测量结果及分析 | 第33-36页 |
| ·SO_4~(2-)对实验结果影响 | 第33-35页 |
| ·Zn~(2+)离子浓度对钝化膜Mott-Schottky 曲线的影响 | 第35页 |
| ·掺杂浓度计算 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 交流阻抗测量结果及分析 | 第37-45页 |
| ·低温水中制备的试样的阻抗测量及分析 | 第37-41页 |
| ·交流阻抗谱图 | 第37-38页 |
| ·半导体等效电路拟合 | 第38-41页 |
| ·280℃水中制备的试样的阻抗测量及分析 | 第41-45页 |
| ·交流阻抗谱图 | 第41-42页 |
| ·半导体等效电路拟合 | 第42-45页 |
| 第五章 结论及建议 | 第45-46页 |
| ·结论 | 第45页 |
| ·建议 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 在学期间发表的学术论文和参加科研情况 | 第50页 |
