| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 目次 | 第10-12页 |
| 1 绪论 | 第12-26页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·阵列波导光栅 | 第13-17页 |
| ·光纤到户接入网和Triplexer | 第17-23页 |
| ·本论文的章节安排 | 第23-24页 |
| ·本论文的主要创新点 | 第24-26页 |
| 2 光波导基本理论 | 第26-38页 |
| ·平板波导的本征方程 | 第26-28页 |
| ·条形波导的近似求解 | 第28-30页 |
| ·数值模拟方法 | 第30-38页 |
| 3 制作工艺研究 | 第38-64页 |
| ·波导材料和波导结构 | 第38-39页 |
| ·平面光波导制作工艺流程 | 第39-41页 |
| ·薄膜沉积工艺 | 第41-49页 |
| ·光刻工艺 | 第49-57页 |
| ·刻蚀工艺 | 第57-64页 |
| 4 基于阵列波导光栅的单纤三向波分复用器 | 第64-92页 |
| ·研究背景 | 第64-69页 |
| ·基于cross-order型AWG的Triplexer | 第69-83页 |
| ·器件性能测试 | 第83-90页 |
| ·总结与讨论 | 第90-92页 |
| 5 新型集成化偏振非敏感阵列波导光栅 | 第92-116页 |
| ·研究背景 | 第92-95页 |
| ·新型偏振非敏感的AWG | 第95-105页 |
| ·器件性能测试 | 第105-114页 |
| ·总结与讨论 | 第114-116页 |
| 6 总结与展望 | 第116-118页 |
| 参考文献 | 第118-128页 |
| 作者简介 | 第128页 |
| 博士在读期间发表的论文 | 第128页 |
| 博士在读期间授权的国家发明专利 | 第128-129页 |