细长不锈钢管内表面沉积的类金刚石碳膜性能研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| ·类金刚石薄膜的结构和性质 | 第8-9页 |
| ·金属管内表面沉积类金刚石膜的制备方法 | 第9-12页 |
| ·等离子体源离子注入(PSII)法 | 第9-10页 |
| ·等离子体浸没离子注入沉积(PIIID)法 | 第10-11页 |
| ·磁场增强型等离子体沉积(MFEP)法 | 第11-12页 |
| ·本研究的目的和研究内容 | 第12-13页 |
| 2 类金刚石薄膜表征方法和试验方法 | 第13-18页 |
| ·类金刚石薄膜表征方法 | 第13-15页 |
| ·拉曼光谱(Raman)测量和解析 | 第13页 |
| ·傅立叶变换红外吸收光谱(FTIR)测量和解析 | 第13-14页 |
| ·扫描电镜(SEM) | 第14页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第14页 |
| ·摩擦性能 | 第14-15页 |
| ·硬度性能 | 第15页 |
| ·耐腐蚀性能测试 | 第15页 |
| ·实验方法 | 第15-18页 |
| ·实验设备 | 第15-16页 |
| ·实验材料 | 第16页 |
| ·实验前处理 | 第16页 |
| ·工艺参数的选择 | 第16-18页 |
| 3 实验结果与分析 | 第18-54页 |
| ·沉积时间对DLC膜的结构和性能的影响 | 第18-34页 |
| ·拉曼光谱(Raman)分析 | 第18-21页 |
| ·傅立叶红外光谱(FTIR)分析 | 第21-25页 |
| ·形貌分析 | 第25-29页 |
| ·硬度性能分析 | 第29-31页 |
| ·摩擦性能分析 | 第31-32页 |
| ·耐腐蚀性能测试 | 第32-34页 |
| ·气体流量对DLC膜的结构和性能影响 | 第34-46页 |
| ·拉曼光谱(Raman)分析 | 第34-36页 |
| ·傅立叶红外光谱(FTIR)分析 | 第36-40页 |
| ·形貌分析 | 第40-43页 |
| ·硬度性能分析 | 第43-44页 |
| ·摩擦性能分析 | 第44-45页 |
| ·耐腐蚀性能测试 | 第45-46页 |
| ·气体成分配比对DLC膜的结构和性能的影响 | 第46-54页 |
| ·拉曼光谱(Raman)分析 | 第46-49页 |
| ·傅立叶红外光谱(FTIR)分析 | 第49-52页 |
| ·耐腐蚀性能测试 | 第52-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
