硅单晶生长速度控制系统的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题的来源和意义 | 第8页 |
| ·国内外单晶炉研制生产的现状及发展 | 第8-12页 |
| ·单晶生产设备的形式 | 第9-10页 |
| ·直拉法结构简介 | 第10-11页 |
| ·目前国内外直径的控制方法及特点 | 第11-12页 |
| ·直径测量方式的选择 | 第12页 |
| ·基于CCD图像处理的应用现状 | 第12-13页 |
| ·嵌入式系统发展现状 | 第13-14页 |
| ·论文研究的主要内容 | 第14-16页 |
| ·系统的硬件平台 | 第14-15页 |
| ·系统的软件平台 | 第15页 |
| ·系统仿真 | 第15-16页 |
| 2 硅单晶生长设备控制系统 | 第16-24页 |
| ·直拉法单晶炉控制系统简介 | 第16-23页 |
| ·温度控制系统 | 第16-17页 |
| ·速度控制系统 | 第17-18页 |
| ·继电器控制单元 | 第18-19页 |
| ·硅单晶直径测量与控制系统 | 第19-23页 |
| ·本章小节 | 第23-24页 |
| 3 基于ARM920T系统硬件设计 | 第24-38页 |
| ·系统总体结构设计 | 第24页 |
| ·中央处理模块 | 第24-32页 |
| ·微处理器的选择 | 第25-26页 |
| ·ARM型号选择 | 第26-27页 |
| ·S3C2410A存储器的选择与接口电路 | 第27-30页 |
| ·单元电路设计 | 第30-32页 |
| ·图像采集模块 | 第32-33页 |
| ·温度采集模块设计 | 第33-34页 |
| ·速度采集模块设计 | 第34页 |
| ·电机驱动模块设计 | 第34-35页 |
| ·加热驱动模块设计 | 第35-36页 |
| ·本章小节 | 第36-38页 |
| 4 控制系统软件平台的构建 | 第38-64页 |
| ·典型的嵌入式操作系统 | 第38-45页 |
| ·嵌入式LINUX操作系统简介 | 第39页 |
| ·Linux内核简介 | 第39-41页 |
| ·嵌入式Linux系统的移植 | 第41-42页 |
| ·Boot Loader的移植 | 第42-43页 |
| ·内核的移植 | 第43-44页 |
| ·文件系统的移植 | 第44-45页 |
| ·图像采集系统 | 第45-53页 |
| ·USB体系结构 | 第45-47页 |
| ·S3C2410主机系统 | 第47-51页 |
| ·图像采集程序编写 | 第51-53页 |
| ·图像处理子系统 | 第53-59页 |
| ·图像处理子系统 | 第53-54页 |
| ·获取灰度图像 | 第54-55页 |
| ·灰度图像预处理 | 第55-59页 |
| ·图像的特征匹配 | 第59页 |
| ·人机交互界面 | 第59-63页 |
| ·控制软件的实现依据 | 第59-60页 |
| ·控制系统软件总体设计 | 第60-63页 |
| ·本章小节 | 第63-64页 |
| 5 控制系统模型的仿真 | 第64-68页 |
| ·系统控制模型建立 | 第64-66页 |
| ·仿真数学模型 | 第64-65页 |
| ·系统仿真 | 第65-66页 |
| ·仿真结果分析 | 第66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 结论 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文与参与项目 | 第76页 |
