| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1.绪论 | 第8-17页 |
| ·课题的研究背景和意义 | 第8-9页 |
| ·微纳器件发展概况及现状 | 第9-12页 |
| ·关于微压力传感器 | 第12-16页 |
| ·课题主要研究内容 | 第16-17页 |
| 2.传感器芯片结构建模 | 第17-23页 |
| ·传感器芯片弹性元件的小挠度分析 | 第17-19页 |
| ·传感器芯片结构尺寸设计 | 第19-21页 |
| ·方形薄膜位移及应力的计算公式 | 第21-23页 |
| 3.传感器芯片结构的有限元分析 | 第23-44页 |
| ·有限元分析介绍 | 第23-24页 |
| ·传感器芯片静力学仿真分析 | 第24-34页 |
| ·传感器芯片结构的模态分析 | 第34-38页 |
| ·传感器芯片结构的谐响应分析 | 第38-41页 |
| ·传感器芯片结构的瞬态动力学分析 | 第41-42页 |
| ·传感器芯片上DBRT(共振隧穿双势垒)薄膜位置的确定 | 第42-44页 |
| 4.介观压阻效应与DBRT薄膜结构设计 | 第44-52页 |
| ·介观压阻效应 | 第44-50页 |
| ·DBRT薄膜的结构设计 | 第50-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 5.GaAs基共振隧穿结构的透射系数及Ⅰ-Ⅴ特性研究 | 第52-60页 |
| ·透射系数仿真分析研究 | 第52-56页 |
| ·Ⅰ-Ⅴ特性仿真分析研究 | 第56-60页 |
| 6.GaAs基共振隧穿压力传感器灵敏度计算 | 第60-64页 |
| ·灵敏度概述 | 第60页 |
| ·灵敏度计算 | 第60-64页 |
| 7.结论与展望 | 第64-66页 |
| ·全文总结 | 第64-65页 |
| ·展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72页 |