中文摘要 | 第1-8页 |
ABSTRACT | 第8-10页 |
第一章 引言 | 第10-19页 |
·TALBOT 阵列照明器 | 第10-14页 |
·衍射光学元件 | 第10-11页 |
·Talbot 效应与阵列照明器 | 第11-14页 |
·TALBOT 阵列照明器研究进展 | 第14-17页 |
·本论文主要研究内容 | 第17-19页 |
第二章 TALBOT 效应与分数TALBOT 效应 | 第19-31页 |
·TALBOT 效应的倒格矢理论分析 | 第19-22页 |
·二维周期阵列物体的晶格阵列函数及其倒格矢 | 第19-21页 |
·分数Talbot 效应的一般性分析 | 第21-22页 |
·常见阵列物体的分数TALBOT 效应 | 第22-25页 |
·一维光栅 | 第22-23页 |
·正方阵列 | 第23-24页 |
·有心正方阵列 | 第24-25页 |
·六角阵列 | 第25页 |
·计算机模拟结果与分析 | 第25-30页 |
·小结 | 第30-31页 |
第三章 TALBOT 阵列照明衍射光学元件的理论与设计 | 第31-45页 |
·基于倒格矢理论的TALBOT 阵列照明器的设计 | 第32-33页 |
·TALBOT 阵列照明器的模拟与实验结果 | 第33-37页 |
·相衬TALBOT 阵列照明器的设计 | 第37-44页 |
·小结 | 第44-45页 |
第四章 基于液晶空间光调制器的微透镜阵列 | 第45-62页 |
·微透镜阵列 | 第45-46页 |
·微透镜阵列的主要制备方法 | 第46-49页 |
·二元光学技术 | 第47页 |
·束能直写技术 | 第47-48页 |
·灰度掩模技术 | 第48-49页 |
·基于液晶空间光调制器的微透镜阵列的最佳焦距 | 第49-61页 |
·传统方法设计的微透镜阵列 | 第50-57页 |
·分数Talbot 阵列照明器方法设计的微透镜阵列 | 第57-61页 |
·小结 | 第61-62页 |
第五章 结论 | 第62-64页 |
·本论文的主要研究成果 | 第62-63页 |
·拟进一步开展的工作 | 第63-64页 |
参考文献 | 第64-72页 |
攻读硕士学位期间发表的文章 | 第72-73页 |
致谢 | 第73页 |