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Al掺杂的ZnO薄膜的电输运性质

中文摘要第1-4页
ABSTRACT第4-8页
第一章 前言第8-23页
   ·ZnO 的基本性质第10-13页
     ·ZnO 的晶格结构和基本参数第10-12页
     ·ZnO 的能带结构第12-13页
   ·ZnO 的研究现状第13-21页
     ·ZnO 本征缺陷的研究现状第13-15页
     ·ZnO 基透明导电氧化物薄膜的研究现状第15-18页
     ·p 型 ZnO 的研究现状第18-20页
     ·ZnO 发光方面的研究现状第20-21页
   ·存在的问题及本文主要工作第21-23页
     ·存在的问题第21页
     ·本文主要工作第21-23页
第二章 样品的制备和表征第23-29页
   ·实验方案和样品制备第23-26页
     ·实验方法介绍第23页
     ·设备原理简介第23-25页
     ·样品制备的参数条件选择第25页
     ·实验操作规程及其注意事项第25-26页
   ·样品的表征手段及其原理简介第26-29页
第三章 ZnO:Al 薄膜的电输运性质第29-44页
   ·ZnO:Al 薄膜的制备第29页
   ·ZnO:Al 薄膜的结构表征第29-33页
   ·ZnO:Al 薄膜的电输运性质第33-42页
     ·样品高温段的金属导电特性第33-37页
     ·样品低温段的电输运行为第37-42页
   ·本章小结第42-44页
第四章 不同晶向和维度的 ZnO:Al 薄膜的电输运性质第44-60页
   ·不同基底上 ZnO:Al 薄膜的电输运性质第44-55页
     ·玻璃基底上 AZO 薄膜的电输运性质第44-45页
     ·A1203(1102 ) 单晶基底上 AZO 薄膜的电输运性质第45-55页
   ·不同厚度的 ZnO:Al 薄膜的电输运特性第55-58页
   ·本章小结第58-60页
第五章 结论第60-62页
参考文献第62-68页
致谢第68页

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