| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-27页 |
| ·微型变压器的概述 | 第12-16页 |
| ·微型变压器的工作原理和典型结构 | 第12-13页 |
| ·微型变压器的分类 | 第13-16页 |
| ·线圈导体材料和磁芯材料 | 第16页 |
| ·微型变压器的研究进展 | 第16-21页 |
| ·微型变压器的应用 | 第21-23页 |
| ·课题研究的主要内容和意义 | 第23-25页 |
| 参考文献 | 第25-27页 |
| 第二章 平面磁芯螺旋微型变压器的模拟设计 | 第27-50页 |
| ·微型变压器的结构设计 | 第27-28页 |
| ·微型变压器的理论基础 | 第28-40页 |
| ·微型变压器的性能参数 | 第28-36页 |
| ·微型变压器的损耗 | 第36-40页 |
| ·微型变压器模拟计算结果与分析 | 第40-49页 |
| ·线圈直流电阻和交流电阻的模拟计算 | 第41-42页 |
| ·线圈匝数对微型变压器线圈性能的影响 | 第42-43页 |
| ·导体线宽对微型变压器线圈性能的影响 | 第43-45页 |
| ·导体厚度对微型变压器线圈性能的影响 | 第45-47页 |
| ·导体间隙对微型变压器线圈性能的影响 | 第47页 |
| ·磁芯对微型变压器线圈性能的影响 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49页 |
| 参考文献 | 第49-50页 |
| 第三章 微型变压器磁芯材料的磁学性能研究 | 第50-66页 |
| ·常用的磁芯材料 | 第50-53页 |
| ·铁氧体 | 第51页 |
| ·坡莫合金 | 第51-52页 |
| ·晶态、非晶态、纳米晶软磁材料 | 第52-53页 |
| ·磁芯材料高频磁导率的测量 | 第53-59页 |
| ·测量原理 | 第53-55页 |
| ·测试样品的制作工艺 | 第55-56页 |
| ·高频磁导率测试结果分析 | 第56-59页 |
| ·磁芯材料磁滞回线的测量 | 第59-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
| 第四章 平面磁芯螺旋微型变压器的 MEMS 制备技术 | 第66-86页 |
| ·基本 MEMS 工艺的介绍 | 第66-76页 |
| ·光刻工艺 | 第66-71页 |
| ·微电镀工艺 | 第71页 |
| ·溅射淀积 | 第71-72页 |
| ·刻蚀工艺 | 第72-73页 |
| ·聚酰亚胺相关工艺 | 第73-76页 |
| ·工艺检测 | 第76页 |
| ·微型变压器的制备工艺 | 第76-82页 |
| ·器件的显微结构图 | 第82-85页 |
| ·本章小结 | 第85页 |
| 参考文献 | 第85-86页 |
| 第五章 平面磁芯螺旋微型变压器的性能测试与分析 | 第86-122页 |
| ·平面磁芯螺旋微型变压器的测试原理 | 第86-89页 |
| ·平面磁芯螺旋微型变压器单个线圈的性能测试 | 第89-109页 |
| ·磁芯对微型变压器初级线圈性能的影响 | 第89-91页 |
| ·导体线宽对微型变压器初级线圈性能的影响 | 第91-100页 |
| ·线圈匝数对微型变压器初级线圈性能的影响 | 第100-109页 |
| ·平面磁芯螺旋微型变压器的性能测试 | 第109-119页 |
| ·磁芯对微型变压器性能的影响 | 第109-111页 |
| ·导体线宽对微型变压器性能的影响 | 第111-115页 |
| ·线圈匝数对微型变压器性能的影响 | 第115-119页 |
| ·结果分析与讨论 | 第119-121页 |
| ·本章小结 | 第121-122页 |
| 第六章 总结与展望 | 第122-124页 |
| 致谢 | 第124-125页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第125页 |