薄膜生长初期的分子动力学模拟研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
1 绪论	第10-22页
·薄膜材料和薄膜技术	第10-13页
·薄膜生长研究现状	第13-21页
·本文工作	第21-22页
2 分子动力学模拟方法	第22-38页
·引言	第22-23页
·分子动力学方法	第23-27页
·薄膜沉积生长的分子动力学模拟	第27-37页
·本章小结	第37-38页
3 沉积原子的扩散输运	第38-49页
·研究背景	第38-39页
·计算模型	第39-41页
·不同局域碰撞位的沉积原子动能势能与应力演变	第41-43页
·局域碰撞位与入射能对沉积原子输运行为的影响	第43-48页
·本章小结	第48-49页
4 退火对亚单层薄膜生长的影响	第49-57页
·引言	第49-50页
·模型与方法	第50-51页
·退火对表面形貌与层组分分布的影响	第51-53页
·退火对薄膜表面粗糙度与应力的影响	第53-56页
·本章小结	第56-57页
5 薄膜的表面形貌、微观结构和应力演变	第57-65页
·引言	第57页
·模型与方法	第57-58页
·表面形貌与表面粗糙度	第58-60页
·薄膜微观结构分析	第60-62页
·退火前后薄膜受力与应力变化	第62-64页
·本章小结	第64-65页
6 全文总结与展望	第65-68页
·全文总结	第65-66页
·下一步的工作和展望	第66-68页
致谢	第68-70页
参考文献	第70-84页
附录 攻读博士学位期间已发表或正在完成的学术论文	第84页