AFM探针自动逼近及三维测量方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 课题研究的目的和意义 | 第11-14页 |
| 1.1.1 课题研究的目的 | 第11-12页 |
| 1.1.2 课题研究的意义 | 第12-14页 |
| 1.2 国内外发展现状与趋势 | 第14-17页 |
| 1.3 AFM简介 | 第17-20页 |
| 1.3.1 AFM成像原理 | 第17-18页 |
| 1.3.2 AFM系统构成 | 第18-20页 |
| 1.3.3 AFM系统的扫描方法 | 第20页 |
| 1.4 AFM系统中机器视觉应用 | 第20-21页 |
| 1.5 课题研究的主要内容及章节安排 | 第21-22页 |
| 1.6 本章小结 | 第22-23页 |
| 第二章 基于图像聚焦定位的AFM自动逼近方法研究 | 第23-37页 |
| 2.1 自动聚焦概述 | 第23-24页 |
| 2.2 聚焦清晰度评价函数 | 第24-25页 |
| 2.3 聚焦清晰度评价函数改进 | 第25-28页 |
| 2.4 聚焦仿真实验 | 第28-34页 |
| 2.4.1 聚焦评价函数性能对比实验 | 第28-33页 |
| 2.4.2 聚焦特性量化对比分析 | 第33-34页 |
| 2.5 聚焦定位准确度测试 | 第34-36页 |
| 2.6 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 AFM自动逼近设计 | 第37-45页 |
| 3.1 实验系统结构 | 第37-39页 |
| 3.2 自聚焦控制策略 | 第39-44页 |
| 3.2.1 探针-样品粗定位过程 | 第41-43页 |
| 3.2.2 探针-样品精确定位过程化 | 第43-44页 |
| 3.2.3 力控反馈验证结果 | 第44页 |
| 3.3 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 基于反馈控制的三维测量方法研究 | 第45-57页 |
| 4.1 三维测量概述 | 第45-46页 |
| 4.2 反馈控制的侧壁形貌检测方法 | 第46-48页 |
| 4.3 反馈角度预测方法 | 第48-51页 |
| 4.3.1 一阶最小二乘拟合的扫描曲线的倾斜校正 | 第49-50页 |
| 4.3.2 B样条拟合的原理 | 第50-51页 |
| 4.3.3 变角度位置点计算与侧壁方向判断 | 第51页 |
| 4.4 三维测量实验 | 第51-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-57页 |
| 第五章 结论 | 第57-59页 |
| 5.1 工作总结 | 第57页 |
| 5.2 研究展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 作者简介 | 第63页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
