关于提高多晶硅生产中氯硅烷提纯节能降耗效果的研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 第1章 文献综述 | 第8-30页 |
| 1.1 多晶硅主要生产工艺 | 第8-15页 |
| 1.1.1 改良西门子技术 | 第8-14页 |
| 1.1.2 硅镁合金法 | 第14页 |
| 1.1.3 新硅烷法 | 第14-15页 |
| 1.2 多晶硅生产过程中氯硅烷精制方法 | 第15-23页 |
| 1.2.1 精馏法 | 第15-17页 |
| 1.2.2 反应法 | 第17-20页 |
| 1.2.3 吸附法 | 第20-23页 |
| 1.3 精馏节能技术的应用 | 第23-27页 |
| 1.3.1 多效精馏在三氯氢硅精馏中的应用 | 第23-24页 |
| 1.3.2 热泵精馏在三氯氢硅精馏中的应用 | 第24-25页 |
| 1.3.3 多效精馏与热泵精馏的结合应用 | 第25页 |
| 1.3.4 热耦精馏在三氯氢硅精馏中的应用 | 第25-27页 |
| 1.3.5 多晶硅生产流程中的耦合节能 | 第27页 |
| 1.4 三氯氢硅精馏节能降耗技术的发展趋势 | 第27-28页 |
| 1.5 本课题研究的目的及主要内容 | 第28-30页 |
| 第2章 氯硅烷反歧化技术实验研究 | 第30-36页 |
| 2.1 实验内容及方法 | 第30-31页 |
| 2.2 实验试剂与实验器材 | 第31-32页 |
| 2.2.1 实验试剂 | 第31页 |
| 2.2.2 实验设备器材 | 第31-32页 |
| 2.3 实验过程及分析 | 第32-35页 |
| 2.3.1 进料位置的影响 | 第32页 |
| 2.3.2 操作温度的影响 | 第32-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 氯硅烷吸附除杂技术实验研究 | 第36-42页 |
| 3.1 实验内容及方法 | 第36页 |
| 3.2 实验试剂及实验设备 | 第36-37页 |
| 3.2.1 实验试剂 | 第36-37页 |
| 3.2.2 实验设备器材 | 第37页 |
| 3.3 实验过程及分析 | 第37-41页 |
| 3.3.1 吸附剂的筛选 | 第37-40页 |
| 3.3.2 床层温度对吸附效果的影响 | 第40-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 吸附及反歧化技术在工业装置中的应用 | 第42-54页 |
| 4.1 三氯氢硅精馏工艺现状及存在的问题 | 第42页 |
| 4.2 吸附技术在三氯氢硅精馏系统的应用 | 第42-49页 |
| 4.3 反歧化技术在三氯氢硅精馏系统的应用 | 第49-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 第5章 结论 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
