| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 第1章 文献综述 | 第9-21页 |
| 1.1 三氯氢硅的理化性质 | 第10-12页 |
| 1.2 三氯氢硅生产技术概述 | 第12-14页 |
| 1.2.1 热氢化法 | 第12-13页 |
| 1.2.2 冷氢化法 | 第13页 |
| 1.2.3 等离子体法 | 第13-14页 |
| 1.2.4 直接氯化法(硅氢氯化法) | 第14页 |
| 1.3 三氯氢硅合成过程的研究现状 | 第14-15页 |
| 1.4 三氯氢硅合成废液处理技术 | 第15-17页 |
| 1.4.1 水解法 | 第15-16页 |
| 1.4.2 干燥法 | 第16页 |
| 1.4.3 燃烧法 | 第16页 |
| 1.4.4 高沸物回收法 | 第16-17页 |
| 1.5 化工模拟技术发展概况及Aspen Plus简介 | 第17-19页 |
| 1.5.1 化工模拟技术发展概况 | 第17-18页 |
| 1.5.2 Aspen plus简介 | 第18-19页 |
| 1.5.3 Aspen plus在多晶硅生产中的应用现状 | 第19页 |
| 1.6 本课题研究的目的及主要内容 | 第19-21页 |
| 1.6.1 本课题研究的目的及意义 | 第19-20页 |
| 1.6.2 本课题研究内容 | 第20-21页 |
| 第2章 三氯氢硅生产流程及流程模拟 | 第21-29页 |
| 2.1 三氯氢硅合成反应原理分析 | 第21-23页 |
| 2.1.1 合成系统 | 第21-22页 |
| 2.1.2 干法除尘系统 | 第22页 |
| 2.1.3 湿法除尘系统 | 第22页 |
| 2.1.4 冷凝系统 | 第22-23页 |
| 2.1.5 氯硅烷残液处理系统 | 第23页 |
| 2.2 三氯氢硅合成反应原理分析 | 第23-25页 |
| 2.3 主要设备的相关参数及模型选型 | 第25-26页 |
| 2.5 三氯氢硅生产系统流程模拟 | 第26-29页 |
| 第3章 三氯氢硅合成系统优化改造 | 第29-43页 |
| 3.1 温度对反应的影响 | 第29-31页 |
| 3.2 压力对反应的影响 | 第31-33页 |
| 3.3 氯化氢中氢气含量对反应的影响 | 第33-36页 |
| 3.4 进料比对反应的影响 | 第36-39页 |
| 3.5 其他因素对反应的影响 | 第39-40页 |
| 3.6 三氯氢硅合成系统优化模拟结果 | 第40-41页 |
| 3.7 本章小结 | 第41-43页 |
| 第4章 干法除尘系统优化改造 | 第43-51页 |
| 4.1 应用现状 | 第43-44页 |
| 4.1.1 工艺流程图 | 第43页 |
| 4.1.2 存在问题 | 第43-44页 |
| 4.2 旋风除尘器安装方式对系统运行的影响分析 | 第44-47页 |
| 4.2.1 内置式旋风除尘工艺 | 第45页 |
| 4.2.2 外置式旋风除尘工艺 | 第45-46页 |
| 4.2.3 上置式旋风除尘工艺 | 第46-47页 |
| 4.2.4 连接方式对除尘系统运行的影响 | 第47页 |
| 4.3 干法除尘系统优化改造 | 第47-50页 |
| 4.3.1 旋风分离器设计 | 第48-49页 |
| 4.3.2 效果验证 | 第49-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 湿法除尘系统优化改造 | 第51-67页 |
| 5.1 洗涤塔运行现状 | 第51-53页 |
| 5.2 洗涤效果影响因素分析 | 第53-63页 |
| 5.2.1 塔板数的影响 | 第53-57页 |
| 5.2.2 回流比的影响 | 第57-61页 |
| 5.2.3 进料位置的影响 | 第61-63页 |
| 5.3 改造方案 | 第63-64页 |
| 5.4 本章小结 | 第64-67页 |
| 第6章 残液回收系统的优化改造 | 第67-75页 |
| 6.1 残液回收系统的初步设计 | 第67-69页 |
| 6.2 残液的组成分析 | 第69-71页 |
| 6.3 氯硅烷残液回收系统的优化 | 第71-74页 |
| 6.3.1 氯硅烷残液回收系统流程设计 | 第71-73页 |
| 6.3.2 旋液分离器设计 | 第73页 |
| 6.3.3 改造效果验证 | 第73-74页 |
| 6.4 本章小结 | 第74-75页 |
| 第7章 结论 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83页 |