| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题背景 | 第8-9页 |
| 1.2 高功率轴快流CO_2激光器的发展和现状 | 第9-10页 |
| 1.3 轴快流CO_2激光器的系统构成及其激励技术的发展 | 第10-12页 |
| 1.4 本文的主要工作 | 第12-14页 |
| 2 气体放电特性及射频电源的设计 | 第14-26页 |
| 2.1 轴快流CO_2激光器气体放电特性 | 第14-19页 |
| 2.2 射频放电管频率参数的选择 | 第19-20页 |
| 2.3 射频电源的结构 | 第20-22页 |
| 2.4 射频功率放大器的拓扑结构选择 | 第22-24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-26页 |
| 3 射频电源的放大级设计和仿真分析 | 第26-44页 |
| 3.1 碳化硅(SiC)晶体管器件 | 第26-29页 |
| 3.2 晶体管驱动芯片的选取 | 第29-31页 |
| 3.3 E类射频功率放大器的分析 | 第31-34页 |
| 3.4 射频放大级的各元器件参数的计算 | 第34-35页 |
| 3.5 负载阻抗变换技术 | 第35-38页 |
| 3.6 基于SiC MOSFET的放大器仿真分析 | 第38-43页 |
| 3.7 本章小结 | 第43-44页 |
| 4 射频电源的硬件设计与实验结果 | 第44-53页 |
| 4.1 射频元器件的选择和实际测试 | 第44-49页 |
| 4.2 射频电源电路板设计要点 | 第49页 |
| 4.3 放大级模块的原理图及PCB设计 | 第49-51页 |
| 4.4 调试及测试结果分析 | 第51-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 5 总结和展望 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 附录 硕士期间申请的软件著作权 | 第57页 |