| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-22页 |
| ·微纳流控芯片 | 第11-14页 |
| ·微纳流控芯片的应用 | 第11页 |
| ·微纳流控芯片制作方法的研究现状 | 第11-14页 |
| ·分离式微纳流控芯片 | 第14页 |
| ·微装配技术的研究 | 第14-20页 |
| ·微装配技术概述 | 第14页 |
| ·微装配系统的特点 | 第14页 |
| ·微装配技术的国内外研究现状 | 第14-20页 |
| ·论文课题背景与来源 | 第20页 |
| ·本论文主要研究工作 | 第20-22页 |
| 2 微纳流控芯片微装配问题分析 | 第22-30页 |
| ·微纳流控芯片对准连接分析 | 第22-23页 |
| ·光学分辨率 | 第23-28页 |
| ·平面分辨率 | 第23-24页 |
| ·深度分辨率 | 第24-28页 |
| ·机械进给调整 | 第28页 |
| ·装配应力 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 微纳流控芯片对准装配方法及装置的研究 | 第30-40页 |
| ·旋转-推动的对准装配方法 | 第30页 |
| ·旋转-推动对准装配装置的研究 | 第30-34页 |
| ·对准装配装置的组成 | 第30-31页 |
| ·倒置显微镜 | 第31-32页 |
| ·一维移动单元 | 第32-33页 |
| ·固定旋转单元 | 第33-34页 |
| ·吸附-放置的对准装配方法 | 第34页 |
| ·吸附-放置对准装配装置的研究 | 第34-38页 |
| ·对准装配装置的组成 | 第34-35页 |
| ·显微视觉单元 | 第35页 |
| ·三维移动单元 | 第35-36页 |
| ·固定旋转单元 | 第36-37页 |
| ·真空吸附单元 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 4 微纳流控芯片的对准装配试验 | 第40-63页 |
| ·玻璃微纳流控芯片对准装配试验 | 第40-47页 |
| ·玻璃微纳流控芯片 | 第40-41页 |
| ·对准装配试验 | 第41-46页 |
| ·离子富集实验 | 第46-47页 |
| ·薄底玻璃-PDMS微纳流控芯片的研制及对准装配试验 | 第47-54页 |
| ·全内反射荧光显微术 | 第47-48页 |
| ·芯片结构 | 第48-49页 |
| ·芯片制作方案 | 第49页 |
| ·PDMS微米通道盖片的制作 | 第49页 |
| ·薄玻璃纳米通道基片的制作 | 第49-51页 |
| ·薄底玻璃-PDMS微纳流控芯片的对准装配及封合 | 第51-52页 |
| ·薄底玻璃-PDMS微纳流控芯片的实验 | 第52-54页 |
| ·PDMS-玻璃微纳流控芯片的研制及对准装配试验 | 第54-61页 |
| ·芯片结构 | 第54页 |
| ·芯片制作方案 | 第54页 |
| ·模具的制作 | 第54-56页 |
| ·PDMS纳米通道盖片制作 | 第56-59页 |
| ·玻璃微米通道基片制作 | 第59-60页 |
| ·PDMS-玻璃微纳流控芯片的对准装配及封合 | 第60-61页 |
| ·PDMS微流控芯片的对准装配 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |