| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课题背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 微尺度热效应 | 第11-13页 |
| 1.2.1 热扩散系数与热导率 | 第12页 |
| 1.2.2 热容与熔点 | 第12页 |
| 1.2.3 热膨胀 | 第12-13页 |
| 1.2.4 微尺度传热 | 第13页 |
| 1.3 热容理论 | 第13-16页 |
| 1.3.1 比热的概念 | 第13-14页 |
| 1.3.2 宏观物体比热理论 | 第14-15页 |
| 1.3.3 微纳尺度比热理论 | 第15-16页 |
| 1.4 微量热计的研究进展 | 第16-17页 |
| 1.5 论文的主要工作 | 第17-19页 |
| 第二章 纳米量热原理 | 第19-27页 |
| 2.1 器件原理 | 第19-20页 |
| 2.2 器件热模型 | 第20-22页 |
| 2.3 器件的结构 | 第22-23页 |
| 2.4 薄膜沉积技术 | 第23-24页 |
| 2.4.1 等离子体增强化学气相沉积(PECVD) | 第23页 |
| 2.4.2 磁控溅射 | 第23-24页 |
| 2.5 虚拟仪器技术及LabVIEW | 第24-26页 |
| 2.6 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 器件热仿真 | 第27-49页 |
| 3.1 仿真模型的建立 | 第27-30页 |
| 3.1.1 COMSOL多物理场仿真软件简介 | 第27页 |
| 3.1.2 几何模型建立 | 第27-28页 |
| 3.1.3 初始条件及边界条件设定 | 第28页 |
| 3.1.4 网格的划分 | 第28-30页 |
| 3.1.5 求解计算及后处理 | 第30页 |
| 3.2 器件热仿真分析 | 第30-48页 |
| 3.2.1 器件温度分布 | 第30-32页 |
| 3.2.2 热辐射损耗导致的误差分析 | 第32-37页 |
| 3.2.3 悬膜厚度对器件性能的影响 | 第37-40页 |
| 3.2.4 悬膜材料对器件性能的影响 | 第40-43页 |
| 3.2.5 热电阻尺寸对器件性能的影响 | 第43-44页 |
| 3.2.6 不同条件下铜热容仿真结果 | 第44-46页 |
| 3.2.7 相变材料热容仿真结果 | 第46-48页 |
| 3.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 器件制备及实验测试结果 | 第49-71页 |
| 4.1 多层薄膜生长工艺优化 | 第49-60页 |
| 4.1.1 二氧化硅薄膜工艺优化 | 第49-55页 |
| 4.1.2 钨薄膜工艺优化 | 第55-60页 |
| 4.2 量热器件的制作 | 第60-62页 |
| 4.3 采集程序编写 | 第62-65页 |
| 4.4 实验测试结果与分析 | 第65-69页 |
| 4.4.1 热电阻阻温系数测定 | 第66-67页 |
| 4.4.2 FeCoAlSi薄膜相变热分析测试 | 第67-68页 |
| 4.4.3 In薄膜熔点测试 | 第68-69页 |
| 4.5 本章小结 | 第69-71页 |
| 第五章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-79页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第79页 |