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高性能太赫兹无源器件研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第10-24页
    1.1 高性能太赫兹无源器件的研究背景及意义第10页
    1.2 太赫兹滤波器的研究动态第10-17页
        1.2.1 太赫兹滤波器国外发展动态第10-14页
        1.2.2 太赫兹滤波器国内发展动态第14-17页
    1.3 太赫兹定向耦合器的研究动态第17-22页
        1.3.1 太赫兹定向耦合器国外发展动态第17-20页
        1.3.2 太赫兹定向耦合器国内发展动态第20-22页
    1.4 工艺简介第22页
    1.5 本论文主要研究内容第22-24页
第二章 基于超精密机械加工技术太赫兹滤波器设计第24-42页
    2.1 理论分析第24-25页
    2.2 波导滤波器设计第25-35页
        2.2.1 220GHZ波导滤波器设计第26-31页
        2.2.2 340GHZ波导滤波器设计第31-35页
    2.3 加工制备第35-36页
    2.4 实验测试及分析第36-41页
        2.4.1 220GHZ波导滤波器测试结果及分析第37-40页
        2.4.2 340GHZ波导滤波器测试结果及分析第40-41页
    2.5 本章小结第41-42页
第三章 基于DRIE加工技术太赫兹滤波器设计第42-54页
    3.1 0.95THZ波导滤波器设计第42-47页
        3.1.1 设计方案一第42-44页
        3.1.2 设计方案二第44-45页
        3.1.3 设计方案三第45-47页
    3.2 加工制备第47-50页
    3.3 实验测试及分析第50-53页
    3.4 本章小结第53-54页
第四章 太赫兹波导定向耦合器基本理论与设计第54-68页
    4.1 理论分析第54-56页
    4.2 340GHZ波导定向耦合器设计第56-63页
        4.2.1 设计方案一第57-61页
        4.2.2 设计方案二第61-63页
    4.3 加工制备第63-65页
    4.4 实验测试及分析第65-67页
    4.5 本章小结第67-68页
第五章 结论第68-69页
致谢第69-70页
参考文献第70-74页
攻硕期间取得的研究成果第74-75页

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