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CsI:TI闪烁薄膜的工艺制备和光学特性的研究

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第10-19页
    1.1 引言第10-11页
    1.2 Cs I:Tl闪烁晶体第11-14页
        1.2.1 CsI:Tl闪烁晶体光转换机理第11-12页
        1.2.2 CsI:Tl闪烁晶体特性第12-14页
    1.3 CsI:Tl闪烁晶体转换屏的研究进展第14-15页
    1.4 X射线探测器第15-17页
        1.4.1 无机闪烁晶体X射线探测器第15-16页
        1.4.2 集成化X射线探测器第16-17页
    1.5 课题研究的内容第17-19页
第二章 CsI:Tl闪烁晶体薄膜光转换结构模型第19-35页
    2.1 理想无晶柱的CsI:Tl晶体的光转换研究第19-26页
        2.1.1 无限大薄层第19页
        2.1.2 理想无晶柱的CsI:Tl晶体层第19-20页
        2.1.3 理想CsI:Tl晶体层对X-ray的荧光透过率第20-22页
        2.1.4 理想CsI:Tl晶体单元修正模型计算第22-26页
    2.2 具有理想晶柱结构的薄膜模型第26-30页
        2.2.1 理想晶柱结构的薄膜层的荧光透过率的计算模型第28-30页
    2.3 计算结果与分析第30-33页
        2.3.1 荧光转换因子与薄膜厚度的关系第30-31页
        2.3.2 荧光转换因子与薄膜有无晶柱结构的关系第31-32页
        2.3.3 荧光转换因子与不同能量X光子入射的关系第32-33页
    2.4 CsI:Tl闪烁薄膜运用于X-ray探测的可行性第33-35页
第三章 CsI:Tl闪烁晶体薄膜制备实验第35-43页
    3.1 CsI:Tl闪烁晶体薄膜制备方法第35页
    3.2 镀膜设备和实验材料第35-38页
        3.2.1 实验材料第35-36页
        3.2.2 蒸发源第36页
        3.2.3 基片的选择第36-37页
        3.2.4 镀膜设备第37-38页
    3.3 CsI:TI闪烁晶体薄膜的制备工艺第38-39页
        3.3.1 实验前期准备第38-39页
        3.3.2 镀膜实验步骤第39页
    3.4 薄膜分析测试手段和设备第39-43页
        3.4.1 光学金相显微镜第39-40页
        3.4.2 扫描电子显微镜第40-41页
        3.4.3 X射线衍射分析技术第41-43页
第四章 CsI:Tl闪烁晶体薄膜制备的工艺研究第43-56页
    4.1 薄膜样品制备第43页
    4.2 测试结果及讨论第43-55页
        4.2.1 不同沉积速率对薄膜样品微结构的影响第43-48页
        4.2.2 薄膜厚度对不同衬底上CsI:Tl薄膜微结构的影响第48-52页
        4.2.3 真空退火对CsI:Tl薄膜晶体结构的影响第52-55页
    4.3 小结第55-56页
第五章 CsI:Tl闪烁晶体薄膜的成像研究第56-62页
    5.1 X射线成像探测器第56-58页
        5.1.1 X射线成像探测技术第56页
        5.1.2 X射线闪烁成像探测器第56-58页
    5.2 CsI:Tl闪烁晶体薄膜的成像研究第58-60页
        5.2.1 样品成像的测试平台第58-59页
        5.2.2 实物成像第59-60页
    5.3 本章小结第60-62页
第六章 结论与展望第62-64页
    6.1 结论第62-63页
    6.2 展望第63-64页
致谢第64-65页
参考文献第65-68页
攻硕期间取得的研究成果第68-69页

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