| 摘要 | 第10-12页 |
| ABSTRACT | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第14-24页 |
| 1.1 大气压气体放电 | 第14页 |
| 1.2 大气压射频放电 | 第14-16页 |
| 1.3 大气压气体放电的一维流体模型及数值计算方法 | 第16-21页 |
| 1.3.1 大气压气体放电的一维流体模型 | 第16-19页 |
| 1.3.2 一维流体模型的数值求解算法 | 第19-21页 |
| 1.4 本文内容 | 第21-24页 |
| 第二章 大气压射频放电等离子体阻抗计算 | 第24-38页 |
| 2.1 大气压氦气射频放电的流体模型 | 第25-28页 |
| 2.2 相关文献中电路等效模型的建立 | 第28-30页 |
| 2.3 等离子体参数公式推导 | 第30-37页 |
| 2.3.1 电子密度公式 | 第30-35页 |
| 2.3.2 鞘层厚度以及鞘层电压公式 | 第35-37页 |
| 2.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 大气压射频微等离子体的空间结构 | 第38-52页 |
| 3.1 大气压氦氧射频放电的流体模型 | 第38-40页 |
| 3.2 大气压氦气微等离子空间结构 | 第40-45页 |
| 3.2.1 大气压氦气微等离子体空间结构 | 第41-44页 |
| 3.2.2 频率对大气压微等离子体放电结构的影响 | 第44-45页 |
| 3.3 大气压氦氧混合气体微等离子体空间结构 | 第45-50页 |
| 3.3.1 微间隙下的氦氧射频放电空间结构 | 第46-48页 |
| 3.3.2 微间隙下的氦氧射频放电主要正负离子空间结构 | 第48-50页 |
| 3.4 本章小结 | 第50-52页 |
| 第四章 大气压射频微等离子体活性粒子的产生与优化 | 第52-69页 |
| 4.1 同功率和同功率密度数值计算方法 | 第53-55页 |
| 4.2 同功率密度下氦氧微等离子体的放电特性 | 第55-59页 |
| 4.2.1 射频微等离子体的放电特性 | 第55-56页 |
| 4.2.2 活性粒子(ROS)的尺度效应 | 第56-59页 |
| 4.3 同功率下氦氧微间隙放电特性 | 第59-67页 |
| 4.3.1 射频微等离子体的放电特性 | 第59-62页 |
| 4.3.2 空间电场分布以及电子能量分析 | 第62-63页 |
| 4.3.3 活性粒子(ROS)的尺度效应 | 第63-67页 |
| 4.4 本章小结 | 第67-69页 |
| 第五章 微波脉冲调制放电特性的流体模拟研究 | 第69-84页 |
| 5.1 微波脉冲调制的流体模型 | 第69-73页 |
| 5.1.1 流体模拟与粒子模拟的对比 | 第70-72页 |
| 5.1.2 微波脉冲调制的流体模拟 | 第72-73页 |
| 5.2 微间隙下第一个电流脉冲的分析 | 第73-81页 |
| 5.2.1 高频下的第一个电流脉冲 | 第75页 |
| 5.2.2 占空比对第一个电流脉冲的影响 | 第75-77页 |
| 5.2.3 调制频率对第一个电流脉冲的影响 | 第77-78页 |
| 5.2.4 低频下的第一个电流脉冲 | 第78-81页 |
| 5.3 大间隙下第一个电流脉冲的分析 | 第81-83页 |
| 5.3.1 低频下的第一个电流脉冲 | 第81页 |
| 5.3.2 高频下的第一个电流脉冲 | 第81-83页 |
| 5.4 本章小结 | 第83-84页 |
| 第六章 结论与展望 | 第84-88页 |
| 6.1 结论 | 第84-85页 |
| 6.2 展望 | 第85-88页 |
| 参考文献 | 第88-96页 |
| 致谢 | 第96-98页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第98-99页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第99页 |