波带板干涉法测量光学双曲面研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| ·研究背景 | 第9-14页 |
| ·非球面的面形描述 | 第11-12页 |
| ·非球面与球面的区别 | 第12页 |
| ·二次非球面的光学性质 | 第12-13页 |
| ·国外非球面光学零件加工设备及生产现状 | 第13页 |
| ·我国非球面光学零件加工设备及生产现状 | 第13-14页 |
| ·非球面的检测方法 | 第14-16页 |
| ·传统干涉仪法 | 第14页 |
| ·全息干涉法 | 第14-15页 |
| ·剪切干涉法 | 第15页 |
| ·波带板干涉法 | 第15页 |
| ·检测方法小结及本课题选用的方法 | 第15-16页 |
| ·论文的主要工作和内容安排 | 第16-17页 |
| ·本章总结 | 第17-18页 |
| 2 波带板共光路干涉仪的实现 | 第18-31页 |
| ·波带板介绍 | 第18-23页 |
| ·波带板特性 | 第18页 |
| ·波带板的焦点、焦距 | 第18-20页 |
| ·波带板各焦点的光强 | 第20-21页 |
| ·波带板与透镜的区别 | 第21-22页 |
| ·波带板参数的计算 | 第22-23页 |
| ·波带板的制作 | 第23页 |
| ·波带板干涉法测量原理 | 第23-25页 |
| ·波带板共光路干涉系统 | 第25-27页 |
| ·针孔的选择 | 第25-26页 |
| ·波带板的安装 | 第26-27页 |
| ·实验 | 第27-31页 |
| ·实验主要器件参数 | 第27-28页 |
| ·空间滤波光路 | 第28页 |
| ·实验平台搭建 | 第28-29页 |
| ·干涉条纹采集 | 第29-31页 |
| 3 光学干涉测量中相位调制方法 | 第31-38页 |
| ·常用的三种相位调制法 | 第31-34页 |
| ·移相干涉测量法 | 第31-32页 |
| ·二维快速傅立叶变换(FFT)测量法 | 第32-33页 |
| ·条纹中心测量法 | 第33页 |
| ·三种解调物光波相位信息方法的比较 | 第33-34页 |
| ·闭合条纹处理的方法 | 第34-38页 |
| ·规则化相位跟踪法 | 第34-35页 |
| ·傅立叶坐标变换法 | 第35-36页 |
| ·莫尔条纹法 | 第36-38页 |
| 4 干涉条纹仿真处理 | 第38-50页 |
| ·原理 | 第38-39页 |
| ·计算机生成模拟待测干涉图 | 第39-40页 |
| ·坐标变换 | 第40-41页 |
| ·插值 | 第41-44页 |
| ·最近邻插值 | 第41-42页 |
| ·线性插值 | 第42页 |
| ·双三次插值 | 第42-44页 |
| ·干涉条纹二值化 | 第44-46页 |
| ·实验法 | 第45页 |
| ·直方图法(双峰法) | 第45页 |
| ·自适应阈值法 | 第45页 |
| ·大津法 | 第45-46页 |
| ·干涉条纹细化 | 第46-47页 |
| ·细化后干涉条纹标定、采样 | 第47页 |
| ·泽尼克(Zernike)波面拟合 | 第47-50页 |
| 5 实际采集干涉条纹处理 | 第50-62页 |
| ·干涉条纹预处理 | 第50-55页 |
| ·图像灰度化 | 第50-51页 |
| ·图像减影 | 第51-52页 |
| ·干涉图像二值化 | 第52页 |
| ·中值滤波 | 第52-53页 |
| ·形态学滤波 | 第53-55页 |
| ·条纹几何中心的计算 | 第55-56页 |
| ·基于坐标变换的干涉条纹处理 | 第56-60页 |
| ·坐标变换 | 第56页 |
| ·插值 | 第56-57页 |
| ·边缘检测 | 第57-60页 |
| ·细化及标定采样 | 第60页 |
| ·泽尼克波面拟合和相位解调 | 第60-62页 |
| 6 误差分析 | 第62-66页 |
| ·波带板的误差和测量精度 | 第62-63页 |
| ·测量数据与泰勒-霍普森轮廓仪比较 | 第63-64页 |
| ·波带板干涉法与轮廓仪结果比较 | 第63页 |
| ·CCD分辨率对调解结果的影响 | 第63-64页 |
| ·空间滤波器针孔大小对调解结果的影响 | 第64页 |
| ·误差比较 | 第64-66页 |
| ·不同离焦量对解调结果的影响 | 第64页 |
| ·不同偏移量对调解结果的影响 | 第64-65页 |
| ·CCD分辨率对调解结果的影响 | 第65-66页 |
| 7 结论 | 第66-69页 |
| ·论文主要成果 | 第66页 |
| ·待研究工作 | 第66-67页 |
| ·发展前景 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-76页 |
| 附录 | 第76-91页 |
