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激光沉积镧钼薄膜阴极的表面分析和发射机理研究

摘要第4-6页
Abstract第6页
第1章 绪论第10-20页
    1.1 选题背景及意义第10-11页
    1.2 文献综述第11-18页
        1.2.1 热电子发射第11-14页
        1.2.2 La 和La_2O_3 的基本物理性质第14-15页
        1.2.3 稀土钼阴极电子发射材料的研究进展第15-18页
    1.3 本论文的研究目的、内容和实验方案第18-20页
        1.3.1 研究目的第18页
        1.3.2 研究内容第18页
        1.3.3 方案设计第18-20页
第2章 薄膜阴极制备装置及工艺条件第20-31页
    2.1 脉冲激光沉积技术第20-21页
    2.2 脉冲激光沉积系统组成及选择第21-24页
    2.3 AES 和PLD 相连的阴极研究系统第24-25页
    2.4 实验过程第25-26页
    2.5 影响薄膜制备的主要因素第26-30页
        2.5.1 激光能量密度及频率第26-27页
        2.5.2 环境气压第27页
        2.5.3 基体温度第27页
        2.5.4 靶距第27页
        2.5.5 光路及靶自转机构第27-28页
        2.5.6 沉积时间第28-29页
        2.5.7 阴极测试温度第29-30页
    2.6 本章小结第30-31页
第3章 薄膜阴极的发射性能与表面形态研究第31-39页
    3.1 零场发射电流密度的测量方法第31-32页
    3.2 镧钼薄膜阴极发射性能测量及表面分析第32-37页
    3.3 本章小结第37-39页
第4章 镧钼薄膜阴极发射机理研究第39-62页
    4.1 镧钼阴极的热电子发射机理第39-40页
    4.2 热电子发射的基本原理第40-41页
    4.3 对单原子层理论的讨论第41-44页
    4.4 氧在镧钼薄膜阴极中的作用第44-48页
        4.4.1 不同La/O 薄膜的发射性能第44-45页
        4.4.2 氧对热发射稳定性影响研究第45-47页
        4.4.3 氧在热发射中的作用的理论解释第47-48页
    4.5 薄膜阴极发射机理分析第48-60页
        4.5.1 半导体模型解释第48-52页
        4.5.2 超微粒子埋藏于基质模型解释第52-59页
        4.5.3 停滞波动阶段第59-60页
    4.6 本章小结第60-62页
第5章 实际镧钼阴极热发射机理第62-70页
    5.1 实际镧钼阴极表面发射层模型第62-64页
    5.2 实际镧钼阴极发射机理分析第64-65页
    5.3 实例分析―—La-W、Ce-W、Y-W 阴极发射性能的区别第65-69页
        5.3.1 表面系统的逸出功第66-68页
        5.3.2 可提供的电子密度第68-69页
    5.4 本章小结第69-70页
结论第70-72页
参考文献第72-76页
附录第76-77页
攻读硕士学位期间所发表的学术论文第77-78页
致谢第78页

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