| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 微位移驱动定位系统 | 第8-10页 |
| 1.1.1 微角位移执行器 | 第8-9页 |
| 1.1.2 压电微执行器驱动电源 | 第9页 |
| 1.1.3 微位移的控制与检测 | 第9-10页 |
| 1.2 微驱动定位系统的国内外发展现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 微驱动执行器国内外发展现状 | 第10-13页 |
| 1.2.2 压电执行器驱动电源国内外发展 | 第13-14页 |
| 1.2.3 微位移控制及检测技术的发展 | 第14-15页 |
| 1.3 本课题的主要研究内容和意义 | 第15-17页 |
| 第二章 回转式压电微角度执行器的工作原理和结构设计 | 第17-28页 |
| 2.1 压电微角度执行器运动原理 | 第17-19页 |
| 2.1.1 尺蠖运动原理 | 第17-18页 |
| 2.1.2 “推—拉”原理简述 | 第18页 |
| 2.1.3 回转式驱动原理 | 第18-19页 |
| 2.2 回转式压电微角度执行器结构原理 | 第19-27页 |
| 2.2.1 柔性铰链的研究 | 第19-21页 |
| 2.2.2 夹紧装置结构 | 第21-22页 |
| 2.2.3 驱动装置结构 | 第22页 |
| 2.2.4 圆光栅的选型和集成 | 第22-23页 |
| 2.2.5 回转式微角度执行器的总体结构 | 第23-25页 |
| 2.2.6 压电材料的选择 | 第25-27页 |
| 2.3 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 回转式压电执行器驱动控制及检测系统的设计 | 第28-44页 |
| 3.1 压电微角度执行器控制及检测系统整体结构 | 第28-29页 |
| 3.2 压电微角度执行器驱动控制系统设计 | 第29-32页 |
| 3.2.1 驱动控制系统整体设计 | 第29-30页 |
| 3.2.2 DSP 系统的硬件设计 | 第30-31页 |
| 3.2.3 方波转三角波电路的设计 | 第31-32页 |
| 3.3 压电微角度执行器角位移检测系统设计 | 第32-37页 |
| 3.3.1 RESM 圆光栅工作原理及输出信号 | 第32-33页 |
| 3.3.2 检测系统总体结构 | 第33-34页 |
| 3.3.3 检测系统硬件电路设计 | 第34-37页 |
| 3.4 控制及检测系统软件设计 | 第37-43页 |
| 3.4.1 驱动控制系统软件设计 | 第38-40页 |
| 3.4.2 检测系统软件设计 | 第40-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 压电陶瓷直流驱动电源的设计 | 第44-58页 |
| 4.1 电源驱动压电陶瓷的作用原理 | 第44-45页 |
| 4.2 压电陶瓷电源的设计要求 | 第45-46页 |
| 4.3 压电陶瓷驱动电源类型 | 第46-47页 |
| 4.4 压电陶瓷驱动电源设计 | 第47-54页 |
| 4.4.1 总体设计 | 第47-48页 |
| 4.4.2 前级稳压电路的设计 | 第48-50页 |
| 4.4.3 线性放大电路设计 | 第50-53页 |
| 4.4.4 防噪声干扰设计 | 第53-54页 |
| 4.5 压电陶瓷驱动电源性能测试 | 第54-57页 |
| 4.6 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 系统性能测试实验和结果分析 | 第58-69页 |
| 5.1 实验装置介绍 | 第58页 |
| 5.2 实验及数据处理 | 第58-68页 |
| 5.2.1 压电陶瓷致动器随电压变化伸缩实验 | 第58-61页 |
| 5.2.2 压电微执行器检测电路波形测试实验 | 第61-62页 |
| 5.2.3 压电微执行器角位移检测实验 | 第62-63页 |
| 5.2.4 固定电源频率时运动角位移随电源电压变化实验 | 第63-64页 |
| 5.2.5 固定电源电压时运动角位移随电源频率变化实验 | 第64-65页 |
| 5.2.6 压电微执行器最小步距实验 | 第65-66页 |
| 5.2.7 微执行器运动重复性实验 | 第66-67页 |
| 5.2.8 非线性测试实验 | 第67-68页 |
| 5.3 本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
