| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 激光声表面波技术概述 | 第9-12页 |
| 1.1.1 激光声表面波产生技术 | 第9-10页 |
| 1.1.2 激光声表面波检测技术 | 第10-12页 |
| 1.2 激光声表面波检测技术的国内外发展现状 | 第12-16页 |
| 1.3 课题目的及研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 迈克尔逊干涉仪激光声表面波检测技术 | 第17-29页 |
| 2.1 单色光的叠加和干涉 | 第17-18页 |
| 2.1.1 光的叠加原理 | 第17页 |
| 2.1.2 光干涉理论 | 第17-18页 |
| 2.2 迈克尔逊干涉仪 | 第18-23页 |
| 2.2.1 经典迈克尔逊干涉仪 | 第18-22页 |
| 2.2.1.1 等倾干涉 | 第19-20页 |
| 2.2.1.2 等厚干涉 | 第20-22页 |
| 2.2.2 偏振式迈克尔逊干涉仪 | 第22-23页 |
| 2.3 迈克尔逊干涉仪激光声表面波检测技术 | 第23-28页 |
| 2.3.1 激光声表面波激发原理 | 第23-25页 |
| 2.3.2 迈克尔逊干涉仪激光声表面波检测原理 | 第25-28页 |
| 2.3.2.1 经典迈克尔逊干涉仪的检测原理 | 第25-26页 |
| 2.3.2.2 偏振式迈克尔逊干涉仪的检测原理 | 第26-27页 |
| 2.3.2.3 干涉方式及测量区域选择 | 第27-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 声表面波仿真分析与信号处理算法 | 第29-42页 |
| 3.1 声表面波仿真 | 第29-37页 |
| 3.1.1 声表面波仿真函数建立 | 第29-31页 |
| 3.1.2 ANSYS 仿真 | 第31-37页 |
| 3.2 色散曲线计算 | 第37-41页 |
| 3.2.1 色散曲线计算算法推导 | 第37-39页 |
| 3.2.2 ANSYS 仿真结果色散曲线计算 | 第39-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 迈克尔逊干涉仪激光声表面波检测系统设计、搭建和测试 | 第42-64页 |
| 4.1 迈克尔逊干涉仪激光声表面波检测系统的设计 | 第42-47页 |
| 4.1.1 经典迈克尔逊干涉仪检测系统 | 第42-45页 |
| 4.1.2 偏振式迈克尔逊干涉仪检测系统 | 第45-47页 |
| 4.2 实验仪器性能测试与选择 | 第47-55页 |
| 4.2.1 脉冲激光器 | 第47-51页 |
| 4.2.2 He-Ne 激光器 | 第51-54页 |
| 4.2.3 平衡光电探测器 | 第54-55页 |
| 4.3 样品准备 | 第55页 |
| 4.4 偏转法激光声表面波检测 | 第55-58页 |
| 4.4.1 实验系统及检测原理 | 第56页 |
| 4.4.2 被测激光声表面波色散曲线计算 | 第56-58页 |
| 4.5 系统的搭建和测试 | 第58-62页 |
| 4.5.1 经典迈克尔逊干涉仪系统 | 第58-59页 |
| 4.5.2 偏振式迈克尔逊干涉仪系统 | 第59-62页 |
| 4.5.3 实验结果分析 | 第62页 |
| 4.6 本章小结 | 第62-64页 |
| 第五章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 5.1 总结 | 第64-65页 |
| 5.2 展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 发表论文及科研情况说明 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |