| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1. 绪论 | 第12-28页 |
| 1.0 红外技术 | 第12-14页 |
| 1.1 红外探测器的发展史 | 第14-15页 |
| 1.2 红外探测器的分类 | 第15-20页 |
| 1.2.1 光子探测器 | 第16-17页 |
| 1.2.2 热探测器 | 第17-20页 |
| 1.3 热电堆红外探测器 | 第20-25页 |
| 1.3.1 国外研究现状 | 第20-22页 |
| 1.3.2 国内研究现状 | 第22-25页 |
| 1.4 论文工作安排及创新点 | 第25-27页 |
| 1.4.1 论文主要工作安排 | 第25-27页 |
| 1.4.2 论文创新点 | 第27页 |
| 1.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 2. 热电堆红外探测器材料选择和结构设计 | 第28-55页 |
| 2.1 红外辐射理论 | 第28-30页 |
| 2.2 热电堆红外探测器工作原理 | 第30-35页 |
| 2.2.1 赛贝克效应 | 第30-32页 |
| 2.2.2 热电堆红外探测器的性能参数 | 第32-35页 |
| 2.3 热电堆红外探测器材料选择 | 第35-38页 |
| 2.3.1 热偶材料选择 | 第36-37页 |
| 2.3.2 介质支撑膜层材料选择 | 第37-38页 |
| 2.3.3 吸收层材料选择 | 第38页 |
| 2.4 热电堆红外探测器结构设计 | 第38-50页 |
| 2.4.1 热电堆红外探测器的结构分类 | 第38-41页 |
| 2.4.2 双端梁结构的研究 | 第41-46页 |
| 2.4.3 基于热导通-电绝缘结构的热电堆探测器理论模型的研究 | 第46-48页 |
| 2.4.4 双层热偶结构的研究 | 第48-50页 |
| 2.5 热电堆红外探测器性能参数理论计算与热稳态仿真 | 第50-54页 |
| 2.5.1 热电堆红外探测器性能参数理论计算 | 第50-51页 |
| 2.5.2 热电堆红外探测器性能参数热稳态仿真 | 第51-54页 |
| 2.6 本章小结 | 第54-55页 |
| 3. 热电堆红外探测器工艺设计与加工 | 第55-75页 |
| 3.1 热电堆红外探测器关键工艺研究 | 第55-65页 |
| 3.1.1 深槽工艺研究 | 第55-58页 |
| 3.1.2 热偶条图形化光刻工艺 | 第58-62页 |
| 3.1.3 离子注入工艺 | 第62-65页 |
| 3.2 热电堆红外探测器工艺设计与加工 | 第65-73页 |
| 3.2.1 热电堆红外探测器制备工艺流程 | 第65-67页 |
| 3.2.2 热电堆红外探测器的版图设计 | 第67-72页 |
| 3.2.3 热电堆红外探测器的加工与制作 | 第72-73页 |
| 3.3 本章小结 | 第73-75页 |
| 4. 热电堆红外探测器的性能测试 | 第75-82页 |
| 4.1 热电堆红外探测器红外辐射响应特性测试 | 第75-78页 |
| 4.1.1 红外辐射测试系统的搭建 | 第75-76页 |
| 4.1.2 红外辐射特性测试 | 第76-77页 |
| 4.1.3 热电堆红外探测器性能参数计算与分析 | 第77-78页 |
| 4.2 热电堆红外探测器真空响应特性测试 | 第78-80页 |
| 4.2.1 测试系统的搭建 | 第78-79页 |
| 4.2.2 热电堆红外探测器真空特性测试及分析 | 第79-80页 |
| 4.3 温度响应特性测试 | 第80页 |
| 4.4 本章总结 | 第80-82页 |
| 5. 热电堆红外探测器吸收层材料新型制备工艺探索研究 | 第82-93页 |
| 5.1 国内外现状分析 | 第82-87页 |
| 5.2 基于等离子体再聚合技术制备黑硅结构的研究 | 第87-91页 |
| 5.2.1 基于等离子体再聚合机理的纳米纤维森林结构制备方法 | 第87-88页 |
| 5.2.2 等离子体再聚合技术的机理研究 | 第88-89页 |
| 5.2.3 基于等离子体再聚合机理的黑硅结构制备方法 | 第89-91页 |
| 5.3 基于等离子体再聚合机理的黑硅结构的光学仿真和测试 | 第91页 |
| 5.4 本章总结 | 第91-93页 |
| 6. 总结与展望 | 第93-96页 |
| 6.1 研究工作总结 | 第93-94页 |
| 6.2 工作展望 | 第94-96页 |
| 参考文献 | 第96-108页 |
| 攻读博士期间发表的论文 | 第108-110页 |
| 致谢 | 第110页 |
