| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 半导体制冷装置的鲁棒非线性精确控制的研究背景及意义 | 第8-10页 |
| 1.2 半导体制冷装置的鲁棒非线性精确控制的发展与研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.1 半导体制冷装置的发展 | 第10-11页 |
| 1.2.2 鲁棒控制的发展及现状 | 第11-12页 |
| 1.2.3 非线性系统的鲁棒控制的发展及现状 | 第12-13页 |
| 1.2.4 基于演算子理论的鲁棒右互质分解技术的发展及现状 | 第13-14页 |
| 1.3 课题研究主要内容 | 第14-15页 |
| 1.4 本章小结 | 第15-16页 |
| 2 算子理论基础 | 第16-25页 |
| 2.1 非线性演算子理论 | 第16-20页 |
| 2.1.1 非线性系统概述 | 第16-18页 |
| 2.1.2 非线性演算子理论 | 第18-20页 |
| 2.2 基于算子理论的右互质分解技术 | 第20-22页 |
| 2.3 基于算子理论的鲁棒右互质分解 | 第22-24页 |
| 2.4 本章小结 | 第24-25页 |
| 3 基于算子理论观测器的鲁棒精确跟踪控制 | 第25-41页 |
| 3.1 半导体制冷系统 | 第25-28页 |
| 3.1.1 半导体制冷系统的构成 | 第25-26页 |
| 3.1.2 珀尔贴元件制冷工作原理 | 第26-28页 |
| 3.2 半导体制冷系统的模型建立 | 第28-30页 |
| 3.3 基于算子理论的控制器设计 | 第30-32页 |
| 3.4 鲁棒精确跟踪控制系统设计 | 第32-37页 |
| 3.4.1 观测器理论概述 | 第32-33页 |
| 3.4.2 鲁棒精确跟踪控制系统设计 | 第33-37页 |
| 3.5 仿真 | 第37-40页 |
| 3.6 本章小结 | 第40-41页 |
| 4 半导体制冷装置精确跟踪控制的实验 | 第41-51页 |
| 4.1 MODBUS通信协议 | 第41-43页 |
| 4.2 半导体制冷装置精确跟踪控制系统平台 | 第43-44页 |
| 4.3 实验设计 | 第44-47页 |
| 4.3.1 下位机控制器设计 | 第44-46页 |
| 4.3.2 上位机设计 | 第46-47页 |
| 4.4 实验结果 | 第47-50页 |
| 4.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 5 总结与展望 | 第51-52页 |
| 5.1 全文工作总结 | 第51页 |
| 5.2 未来工作展望 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 附录：硕士研究生学习阶段发表论文 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |
