基于生物分级结构TiO2敏感膜的声表面波传感器及其在重金属离子检测中的应用
| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-22页 |
| 1.1 重金属离子危害 | 第11-12页 |
| 1.2 重金属检测方法 | 第12-13页 |
| 1.3 声表面波器件背景 | 第13-15页 |
| 1.4 声表面波工作原理 | 第15-17页 |
| 1.5 声表面波(SAW)传感器的历史与现状 | 第17-20页 |
| 1.6 声表面波检测重金属离子内容与意义 | 第20-22页 |
| 第2章 SAW传感器的制备和性能表征 | 第22-39页 |
| 2.1 叉指换能器制备 | 第22-25页 |
| 2.1.1 叉指换能器的基础原理 | 第22-23页 |
| 2.1.2 叉指换能器的结构设计 | 第23-24页 |
| 2.1.3 叉指换能器制备流程与工艺 | 第24-25页 |
| 2.2 SAW压电层材料及制备方法的选择 | 第25-32页 |
| 2.2.1 压电性基础 | 第25-27页 |
| 2.2.2 压电层材料的选择 | 第27-30页 |
| 2.2.3 ZnO压电层材料制备方法 | 第30-32页 |
| 2.3 SAW传感器的制备 | 第32-34页 |
| 2.3.1 制备材料与仪器 | 第32-33页 |
| 2.3.2 SAW传感器制备流程 | 第33-34页 |
| 2.4 SAW传感器的性能表征 | 第34-39页 |
| 2.4.1 ZnO压电薄膜的表征 | 第34-35页 |
| 2.4.2 叉指电极表征 | 第35页 |
| 2.4.3 SAW传感器谐振性能 | 第35-39页 |
| 第3章 SAW传感器敏感膜的制备与表征 | 第39-44页 |
| 3.1 生物结构二氧化钛的制备 | 第39-41页 |
| 3.2 生物分级结构二氧化钛的表征 | 第41-42页 |
| 3.3 生物分级结构的二氧化钛敏感膜装配 | 第42-44页 |
| 3.3.1 溶胶的合成与敏感膜的装配 | 第42页 |
| 3.3.2 二氧化钛敏感层制备结果分析 | 第42-44页 |
| 第4章 SAW传感器性能测试与结果分析 | 第44-50页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 检测方法 | 第44-46页 |
| 4.3 检测结果及分析 | 第46-48页 |
| 4.3.1 铅离子检测结果与分析 | 第46页 |
| 4.3.2 灵敏度检测结果与分析 | 第46-47页 |
| 4.3.3 不同离子检测结果与分析 | 第47-48页 |
| 4.4 SAW传感器性能总结 | 第48-50页 |
| 第5章 结论与展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-58页 |
| 附录 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
