| 中文摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 引言 | 第10-21页 |
| 1.1 太阳能电池发展及现状 | 第10-11页 |
| 1.2 量子点太阳能电池的理论 | 第11-16页 |
| 1.2.1 多激子产生效应 | 第12-14页 |
| 1.2.2 量子点中间带机理 | 第14-16页 |
| 1.3 富硅氮化硅薄膜的发光研究进展 | 第16-19页 |
| 1.3.1 氮化硅薄膜的介绍 | 第16-17页 |
| 1.3.2 Si-QD嵌入的氮化硅结构 | 第17-18页 |
| 1.3.3 SiNx中的缺陷态发光中心 | 第18-19页 |
| 1.4 富硅氮化硅薄膜的制备 | 第19-20页 |
| 1.5 本论文的研究目的与研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 热丝法技术介绍和薄膜的性能检测技术 | 第21-29页 |
| 2.1. 热丝化学气相沉积技术方法简介 | 第21-22页 |
| 2.2 热丝法沉积原理 | 第22-24页 |
| 2.3 热丝技术存在的问题 | 第24页 |
| 2.4 实验表征的方法 | 第24-29页 |
| 2.4.1 紫外可见光分析 | 第24-26页 |
| 2.4.2 红外傅里叶光谱分析 | 第26-27页 |
| 2.4.3 光致发光谱线(PL) | 第27-28页 |
| 2.4.4 SEM的表征分析 | 第28-29页 |
| 第三章 氮流量对热丝制备富硅-氮化硅薄膜的结构及性质影响 | 第29-36页 |
| 3.1 实验目的 | 第29页 |
| 3.2 实验过程 | 第29页 |
| 3.3 实验结果与分析 | 第29-34页 |
| 3.3.1 FTIR谱及其键合情况 | 第29-31页 |
| 3.3.2 薄膜的光学吸收谱 | 第31-33页 |
| 3.3.3 PL谱 | 第33-34页 |
| 3.3.4 薄膜的SEM图 | 第34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-36页 |
| 第四章 热丝法制备包含纳米硅团簇的富硅氮化硅薄膜 | 第36-41页 |
| 4.1 实验目的 | 第36页 |
| 4.2 实验过程 | 第36页 |
| 4.3 实验结果和分析 | 第36-40页 |
| 4.3.1 薄膜的键合(FTIR)特性 | 第36-38页 |
| 4.3.2 薄膜的光学吸收谱 | 第38-39页 |
| 4.3.3 富硅氮化硅薄膜的SEM图 | 第39-40页 |
| 4.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第五章 热丝温度对氮化硅薄膜结构及其性质的影响 | 第41-45页 |
| 5.1 实验目的 | 第41页 |
| 5.2 实验过程 | 第41页 |
| 5.3 实验结果和分析 | 第41-44页 |
| 5.3.1 薄膜的键合(FTIR)特性 | 第41-42页 |
| 5.3.2 薄膜的光学吸收谱 | 第42-43页 |
| 5.3.3 薄膜的SEM图 | 第43-44页 |
| 5.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第六章 结论与展望 | 第45-47页 |
| 6.1 实验结果 | 第45-46页 |
| 6.2 展望 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-50页 |
| 攻读硕士期间发表和完成的论文 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51页 |