| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第8页 |
| 1.2 国内外研究概况 | 第8-15页 |
| 1.3 论文的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 2 动态聚焦扫描系统的原理 | 第17-25页 |
| 2.1 振镜扫描系统概述 | 第17-18页 |
| 2.2 二维振镜扫描系统的原理 | 第18-20页 |
| 2.3 三维动态聚焦系统原理 | 第20-22页 |
| 2.4 大尺度动态聚焦系统可行性分析 | 第22-23页 |
| 2.5 本章小结 | 第23-25页 |
| 3 激光大尺度三维动态聚焦系统关键组件光学设计 | 第25-50页 |
| 3.1 F-THETA镜的光学设计 | 第26-35页 |
| 3.2 动态聚焦镜的光学设计 | 第35-46页 |
| 3.3 动态聚焦镜系统的驱动机构设计与选型 | 第46-48页 |
| 3.4 激光大尺度三维动态聚焦扫描加工系统集成 | 第48-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 4 激光大尺度三维动态聚焦扫描加工验证实验 | 第50-65页 |
| 4.1 激光大尺度三维动态聚焦扫描控制原理 | 第50-51页 |
| 4.2 调试用控制软件设计 | 第51-54页 |
| 4.3 聚焦光斑的尺寸实验 | 第54-55页 |
| 4.4 大尺寸动态聚焦系统焦点浮动特性实验 | 第55-57页 |
| 4.5 激光大尺度三维动态聚焦焦点浮动规律实验验证 | 第57-58页 |
| 4.6 动态聚焦三维扫描加工图形实验 | 第58-63页 |
| 4.7 本章小结 | 第63-65页 |
| 5 总结与展望 | 第65-67页 |
| 5.1 全文总结 | 第65-66页 |
| 5.2 课题展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |