柔性化电容式微加工超声换能器的设计与研制
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 超声换能器 | 第11-12页 |
| 1.2 电容式超声换能器研究进展 | 第12-14页 |
| 1.3 课题研究的意义和主要内容 | 第14-16页 |
| 1.3.1 研究意义 | 第14页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第14-15页 |
| 1.3.3 研究方法 | 第15-16页 |
| 1.4 本章小结 | 第16-17页 |
| 第二章 CMUT工作原理与力电耦合 | 第17-32页 |
| 2.1 基本工作原理 | 第17-21页 |
| 2.1.1 塌陷电压 | 第17-19页 |
| 2.1.2 等效电路 | 第19-20页 |
| 2.1.3 机电耦合系数 | 第20-21页 |
| 2.2 CMUT力电耦合分析 | 第21-31页 |
| 2.2.1 静态分析 | 第21-25页 |
| 2.2.2 模态分析 | 第25-29页 |
| 2.2.3 谐响应分析 | 第29-31页 |
| 2.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 CMUT声学分析与仿真 | 第32-42页 |
| 3.1 声学分析基础 | 第32-36页 |
| 3.1.1 波动方程 | 第32-33页 |
| 3.1.2 流体矩阵 | 第33-34页 |
| 3.1.3 边界吸声 | 第34-35页 |
| 3.1.4 流-固耦合 | 第35-36页 |
| 3.2 CMUT声场仿真分析 | 第36-41页 |
| 3.2.1 声场模型 | 第36-38页 |
| 3.2.2 发射声压 | 第38-40页 |
| 3.2.3 相对带宽 | 第40-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 CMUT结构设计与制备工艺 | 第42-70页 |
| 4.1 CMUT结构参数分析 | 第42-50页 |
| 4.1.1 流体介质 | 第42-44页 |
| 4.1.2 振动薄膜 | 第44-47页 |
| 4.1.3 电极 | 第47-48页 |
| 4.1.4 空腔 | 第48-49页 |
| 4.1.5 绝缘层 | 第49-50页 |
| 4.2 柔性化CMUT设计 | 第50-52页 |
| 4.3 柔性化叠层振膜CMUT设计 | 第52-59页 |
| 4.4 CMUT制备工艺 | 第59-69页 |
| 4.4.1 传统CMUT制备工艺 | 第59-60页 |
| 4.4.2 柔性化CMUT制备工艺 | 第60-63页 |
| 4.4.3 样品CMUT制备工艺 | 第63-69页 |
| 4.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 CMUT测试系统设计与性能测试 | 第70-83页 |
| 5.1 测试系统设计 | 第70-73页 |
| 5.1.1 驱动部分 | 第70-71页 |
| 5.1.2 接收部分 | 第71-72页 |
| 5.1.3 阻抗匹配 | 第72-73页 |
| 5.2 谐振测试 | 第73-75页 |
| 5.3 阻抗测试 | 第75-76页 |
| 5.4 声学测试 | 第76-82页 |
| 5.4.1 发射功能测试 | 第76-78页 |
| 5.4.2 接收功能测试 | 第78-79页 |
| 5.4.3 发射-接收测试 | 第79-82页 |
| 5.5 本章小结 | 第82-83页 |
| 结论 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-91页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 附件 | 第93页 |
