| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 研究背景 | 第8页 |
| 1.2 常用压电材料 | 第8-9页 |
| 1.3 微型AlN压电振动能量收集器的国内外研究现状 | 第9-17页 |
| 1.4 研究目标和研究内容 | 第17-18页 |
| 1.5 本章小结 | 第18-19页 |
| 2 微型AlN压电振动能量收集器的结构与理论分析 | 第19-26页 |
| 2.1 器件结构及工作原理 | 第19页 |
| 2.2 微型AlN压电振动能量收集器的压电方程 | 第19-20页 |
| 2.3 基于集总参数模型的理论分析 | 第20-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 3 微型AlN压电振动能量收集器的结构优化设计 | 第26-38页 |
| 3.1 微型AlN压电振动能量收集器主要技术指标 | 第26页 |
| 3.2 微型AlN压电振动能量收集的有限元模型建立 | 第26-28页 |
| 3.3 微型AlN压电振动能量收集器的结构优化设计 | 第28-37页 |
| 3.3.1 总体优化思路 | 第28-29页 |
| 3.3.2 器件的结构优化设计 | 第29-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 4 微型AlN压电振动能量收集器的加工技术 | 第38-53页 |
| 4.1 AlN压电薄膜制备工艺 | 第38-48页 |
| 4.1.1 溅射工艺真空度对AlN压电薄膜（002）择优取向的影响 | 第39-40页 |
| 4.1.2 N_2和Ar的气体流量比对AlN压电薄膜（002）择优取向的影响 | 第40-42页 |
| 4.1.3 溅射功率对AlN压电薄膜（002）择优取向和表面形貌的影响 | 第42-43页 |
| 4.1.4 衬底温度对AlN压电薄膜（002）择优取向的影响 | 第43-44页 |
| 4.1.5 预溅射时间对AlN压电薄膜（002）择优取向的影响 | 第44页 |
| 4.1.6 种子层对AlN压电薄膜（002）择优取向的影响 | 第44-46页 |
| 4.1.7 下电极材料对AlN压电薄膜（002）择优取向的影响 | 第46-48页 |
| 4.2 AlN压电薄膜的掺杂工艺的探索 | 第48-50页 |
| 4.3 微型AlN压电振动能量收集器工艺流程设计及加工 | 第50-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 5 微型AlN压电振动能量收集器的测试与分析 | 第53-60页 |
| 5.1 样机结构尺寸测试 | 第53-54页 |
| 5.2 样机性能的测试与分析 | 第54-59页 |
| 5.2.1 测试平台的搭建 | 第54-55页 |
| 5.2.2 样机测试与分析 | 第55-59页 |
| 5.3 本章小结 | 第59-60页 |
| 6 总结与展望 | 第60-62页 |
| 6.1 总结 | 第60页 |
| 6.2 展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 附录 | 第68页 |
| A. 作者在攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第68页 |
