压电型多自由度精密驱动器控制系统开发研究
| 第一章 绪 论 | 第5-14页 |
| 1.1 引言 | 第5页 |
| 1.2 精密驱动技术主要运用领域 | 第5-9页 |
| 1.2.1 MEMS和超精密加工 | 第6页 |
| 1.2.2 生物工程 | 第6-7页 |
| 1.2.3 医疗科学 | 第7-8页 |
| 1.2.4 集成电路制造 | 第8页 |
| 1.2.5 光纤对接 | 第8页 |
| 1.2.6 微型零件的操作和装配 | 第8页 |
| 1.2.7 精密驱动工作台 | 第8-9页 |
| 1.3 精密驱动机构的分类及比较 | 第9-11页 |
| 1.4 压电型精密驱动实现方式及成果 | 第11-13页 |
| 1.5 本章小结 | 第13-14页 |
| 第二章 压电驱动基础理论 | 第14-27页 |
| 2.1 压电陶瓷概述 | 第14-21页 |
| 2.1.1 压电效应与逆压电效应 | 第14-15页 |
| 2.1.2 压电陶瓷及压电性能 | 第15-18页 |
| 2.1.3 压电方程 | 第18页 |
| 2.1.4 压电振子等效电路及谐振特性 | 第18-20页 |
| 2.1.5 常用压电陶瓷致动器 | 第20-21页 |
| 2.2 压电驱动技术 | 第21-24页 |
| 2.2.1 压电驱动器与分类 | 第21-22页 |
| 2.2.2 压电驱动研究内容 | 第22-23页 |
| 2.2.3 压电驱动的特点 | 第23-24页 |
| 2.3 压电叠堆的工作原理 | 第24-26页 |
| 2.3.1 压电叠堆的组成及其特点 | 第24-25页 |
| 2.3.2 压电叠堆的迟滞性 | 第25-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 压电型多自由度驱动原理及结构 | 第27-35页 |
| 3.1 柔性铰链及其计算机辅助分析 | 第27-30页 |
| 3.1.1 柔性铰链简介 | 第27-28页 |
| 3.1.2 柔性铰链刚度设计 | 第28-30页 |
| 3.2 压电型步进式直线运动原理 | 第30-32页 |
| 3.3 步进式压电多自由度精密驱动 | 第32-34页 |
| 3.3.1 驱动机构运动原理 | 第32-33页 |
| 3.3.2 机构的驱动时序 | 第33-34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 压电型精密驱动电源设计 | 第35-47页 |
| 4.1 电源框图 | 第35页 |
| 4.2 电源数字电路设计 | 第35-36页 |
| 4.3 高精密压电驱动电路设计 | 第36-43页 |
| 4.3.1 稳压电源部分设计 | 第36-40页 |
| 4.3.2 电压和功率放大电路 | 第40-43页 |
| 4.4 串行通讯部分设计 | 第43-46页 |
| 4.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 压电驱动器位移伺服控制 | 第47-59页 |
| 5 1动态特性分析系统模型建立 | 第47-48页 |
| 5.2 位移的伺服控制 | 第48-52页 |
| 5.3 MAP图控制方法 | 第52-57页 |
| 5 4 多自由度控制方法 | 第57-58页 |
| 5 5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 结 论 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 致 谢 | 第65-66页 |
| 摘 要 | 第66-69页 |
| ABSTRACT | 第69页 |
