| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 前言 | 第8-18页 |
| 1.1 微光学元件发展概述 | 第8页 |
| 1.2 光栅发展历史及参数特征 | 第8-10页 |
| 1.3 常用光栅材料 | 第10-11页 |
| 1.4 LiNbO_3结构及微细加工方法 | 第11-15页 |
| 1.4.1 LiNbO_3结构 | 第11-12页 |
| 1.4.2 LiNbO_3微细加工的方法 | 第12-14页 |
| 1.4.3 感光溶胶-凝胶法 | 第14-15页 |
| 1.5 实验目的意义及主要研究内容 | 第15-18页 |
| 1.5.1 实验目的及意义 | 第15页 |
| 1.5.2 实验主要研究内容 | 第15-18页 |
| 2 实验方案及实验条件 | 第18-24页 |
| 2.1 实验方案 | 第18-19页 |
| 2.2 实验所用原料及设备 | 第19-21页 |
| 2.2.1 实验所用原料 | 第19页 |
| 2.2.2 溶胶及其薄膜制备设备 | 第19-20页 |
| 2.2.3 微细加工设备 | 第20-21页 |
| 2.2.4 分析测试仪器 | 第21页 |
| 2.3 微细加工工艺 | 第21-24页 |
| 2.3.1 紫外掩模法 | 第21-22页 |
| 2.3.2 激光干涉法 | 第22-24页 |
| 3 LiNbO_3溶胶的配制及薄膜的制备 | 第24-36页 |
| 3.1 LiNbO_3溶胶的配制 | 第24-29页 |
| 3.1.1 LiNbO_3溶胶原料的选择 | 第24页 |
| 3.1.2 五氯化铌配制LiNbO_3溶胶的工艺探讨 | 第24-27页 |
| 3.1.3 乙醇铌配制LiNbO_3溶胶的工艺探讨 | 第27-28页 |
| 3.1.4 LiNbO_3溶胶金属离子摩尔比的确定 | 第28-29页 |
| 3.2 LiNbO_3薄膜的制备 | 第29-30页 |
| 3.3 LiNbO_3薄膜的性能分析 | 第30-35页 |
| 3.3.1 预处理工艺对LiNbO_3薄膜表面质量的影响 | 第30页 |
| 3.3.2 LiNbO_3薄膜的XRD分析 | 第30-31页 |
| 3.3.3 LiNbO_3薄膜的SEM分析 | 第31-32页 |
| 3.3.4 不同终处理温度对LiNbO_3薄膜透光率的影响 | 第32-33页 |
| 3.3.5 不同终处理温度对LiNbO_3薄膜折射率的影响 | 第33-35页 |
| 3.4 小结 | 第35-36页 |
| 4 LiNbO_3溶胶感光性及机理分析 | 第36-42页 |
| 4.1 红外光谱分析 | 第36-38页 |
| 4.2 紫外光谱分析 | 第38-40页 |
| 4.3 LiNbO_3溶胶的感光机理研究 | 第40-41页 |
| 4.4 小结 | 第41-42页 |
| 5 LiNbO_3光栅的制备及衍射性能分析 | 第42-58页 |
| 5.1 LiNbO_3光栅的制备 | 第42-48页 |
| 5.1.1 LiNbO_3微细加工性的可行性研究 | 第42-43页 |
| 5.1.2 LiNbO_3光栅制备工艺研究 | 第43-46页 |
| 5.1.3 LiNbO_3光栅形貌及物性分析 | 第46-48页 |
| 5.2 LiNbO_3光栅的衍射机理分析 | 第48-51页 |
| 5.3 LiNbO_3光栅的制备及衍射性能研究 | 第51-56页 |
| 5.3.1 不同槽深LiNbO_3光栅的制备及衍射性能分析 | 第51-54页 |
| 5.3.2 不同类型LiNbO_3光栅制备及衍射性能分析 | 第54-56页 |
| 5.4 小结 | 第56-58页 |
| 6 结论 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表的论文和专利 | 第68页 |
