基于ZnO/玻璃结构的声表面波器件研究
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7页 |
| 缩略词表 | 第8-9页 |
| 目次 | 第9-11页 |
| 1 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 声表面波技术基础 | 第11-14页 |
| 1.2 SAW器件的研究意义与研究现状 | 第14-16页 |
| 1.2.1 SAW器件的研究意义 | 第14页 |
| 1.2.2 SAW器件的研究历史与研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3 论文的研究内容与章节安排 | 第16-18页 |
| 1.3.1 论文的研究内容 | 第16-17页 |
| 1.3.2 各章节内容安排 | 第17-18页 |
| 2 SAW基础 | 第18-29页 |
| 2.1 基本声波理论 | 第18-19页 |
| 2.2 压电效应与压电方程 | 第19-22页 |
| 2.2.1 压电效应 | 第19-20页 |
| 2.2.2 压电方程 | 第20-22页 |
| 2.3 SAW的工作原理 | 第22-26页 |
| 2.3.1 SAW的工作原理 | 第22-25页 |
| 2.3.2 SAW的机电耦合系数 | 第25-26页 |
| 2.4 SAW器件模型 | 第26-28页 |
| 2.4.1 δ函数模型 | 第26-27页 |
| 2.4.2 等效电路模型 | 第27页 |
| 2.4.3 P矩阵模型 | 第27-28页 |
| 2.4.4 COM模型 | 第28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 SAW的有限元仿真 | 第29-39页 |
| 3.1 有限元法 | 第29-30页 |
| 3.2 有限元仿真软件COMSOL | 第30-32页 |
| 3.2.1 COMSOL软件介绍 | 第30-32页 |
| 3.2.2 COMSOL软件的有限元分析步骤 | 第32页 |
| 3.3 SAW的COMSOL仿真 | 第32-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 4 SAW制备 | 第39-53页 |
| 4.1 SAW的压电材料 | 第39-41页 |
| 4.2 ZNO薄膜的制备方法 | 第41-42页 |
| 4.3 SAW器件制作及参数 | 第42-45页 |
| 4.4 ZNO薄膜的表征及电极测厚 | 第45-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 5 SAW传感器研究 | 第53-63页 |
| 5.1 SAW传感器基础 | 第53-54页 |
| 5.2 SAW紫外传感器 | 第54-59页 |
| 5.3 SAW温频特性 | 第59-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 6 SAW微流体器件研究 | 第63-72页 |
| 6.1 微流体技术 | 第63-64页 |
| 6.2 微流体领域中的声表面波器件 | 第64-66页 |
| 6.3 SAW微流控测试 | 第66-70页 |
| 6.4 本章小结 | 第70-72页 |
| 7 总结 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第77页 |
