在位砂轮表面形貌测量系统精密位移工作台的优化设计
| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 引言 | 第10-18页 |
| 1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.2 课题研究目的及意义 | 第10-11页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第11-16页 |
| 1.3.1 砂轮在位测量研究现状 | 第11-12页 |
| 1.3.2 精密位移工作台的研究现状 | 第12-16页 |
| 1.4 本文主要内容 | 第16-18页 |
| 第2章 在位精密位移工作台整体方案设计 | 第18-24页 |
| 2.1 在位精密位移工作台功能分析 | 第18-19页 |
| 2.2 在位检测精密位移工作台技术指标 | 第19-20页 |
| 2.3 在位精密位移工作台的整体设计方案 | 第20-22页 |
| 2.4 测量系统控制策略 | 第22-23页 |
| 2.5 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 精密位移工作台结构设计及关键部件选型 | 第24-44页 |
| 3.1 工作台结构设计及传动部件的选型 | 第24-34页 |
| 3.1.1 Z轴导向设计 | 第24-25页 |
| 3.1.2 XY向位移平台设计 | 第25-26页 |
| 3.1.3 导轨的选型及安装 | 第26-28页 |
| 3.1.4 丝杆的选型及安装 | 第28-31页 |
| 3.1.5 步进电机的选型 | 第31-32页 |
| 3.1.6 微定位平台的选型 | 第32-34页 |
| 3.2 位移反馈计量光栅的选型 | 第34-35页 |
| 3.3 关键装配件的装配误差分析 | 第35-43页 |
| 3.3.1 电机与滚珠丝杆同轴度误差的保证 | 第36-39页 |
| 3.3.2 Y层结构双层导轨配合的装配误差 | 第39-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 在位精密位移工作台主体结构的分析与优化 | 第44-74页 |
| 4.1 Z向立柱静力学分析 | 第44-49页 |
| 4.1.1 结构静力学分析介绍 | 第45-46页 |
| 4.1.2 Z向立柱有限元分析 | 第46-47页 |
| 4.1.3 Z向立柱变形位移量对表面形貌测量影响 | 第47-49页 |
| 4.2 Z向立柱结构优化设计 | 第49-66页 |
| 4.2.1 Z向立柱结构改进 | 第49-53页 |
| 4.2.2 Z向立柱优化设计 | 第53-66页 |
| 4.3 Z向立柱的动力学分析 | 第66-69页 |
| 4.4 关键零部件的有限元分析 | 第69-72页 |
| 4.4.1 立柱后板有限元分析 | 第69-71页 |
| 4.4.2 Z轴丝杆螺母连接块有限元分析 | 第71-72页 |
| 4.5 本章小结 | 第72-74页 |
| 第5章 精密位移工作台实验研究 | 第74-98页 |
| 5.1 在位精密位移工作台位移性能分析概述 | 第74-75页 |
| 5.2 工作台样机组装调试 | 第75页 |
| 5.3 精密位移工作台定的定位精度测试及验证 | 第75-86页 |
| 5.3.1 定位精度测试的实验方案及分析方法 | 第76-77页 |
| 5.3.2 X方向位移的标定实验 | 第77-80页 |
| 5.3.3 Y方向位移的标定实验 | 第80-82页 |
| 5.3.4 Z方向的位移标定实验 | 第82-86页 |
| 5.4 精密位移工作台的直线度测试验证 | 第86-97页 |
| 5.4.1 工作台位移直线度评定方法 | 第88-90页 |
| 5.4.2 X方向位移的直线度测试验证 | 第90-91页 |
| 5.4.3 Y方向位移的直线度测试验证 | 第91-93页 |
| 5.4.4 Z方向位移的直线度测试验证 | 第93-97页 |
| 5.5 本章小结 | 第97-98页 |
| 第6章 总结与展望 | 第98-100页 |
| 6.1 全文工作总结 | 第98-99页 |
| 6.2 本文创新之处 | 第99页 |
| 6.3 展望 | 第99-100页 |
| 参考文献 | 第100-104页 |
| 致谢 | 第104-106页 |
| 个人简历、在学期间发表学术论文与研究成果 | 第106页 |
