| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-22页 |
| 1.0 研究意义 | 第9页 |
| 1.1 喷丝头冲孔及冲针表面改性 | 第9-15页 |
| 1.1.1 纺丝成型 | 第10-11页 |
| 1.1.2 纺丝机关键部件喷丝头简介 | 第11-12页 |
| 1.1.3 喷丝头的成型 | 第12-13页 |
| 1.1.4 冲孔针头的加工制造 | 第13-14页 |
| 1.1.5 喷丝头的表面处理 | 第14页 |
| 1.1.6 针头实际冲孔问题和表面改性 | 第14-15页 |
| 1.2 钢基冲针表面改性的研究现状 | 第15-21页 |
| 1.2.1 金刚石薄膜沉积 | 第15-19页 |
| 1.2.2 类金刚石薄膜沉积 | 第19-20页 |
| 1.2.3 外场尖端效应 | 第20-21页 |
| 1.3 选题依据 | 第21页 |
| 1.4 研究目的和内容 | 第21-22页 |
| 2 实验部分 | 第22-30页 |
| 2.1 实验材料 | 第22-24页 |
| 2.2 实验设备 | 第24-26页 |
| 2.3 薄膜制备工艺 | 第26-29页 |
| 2.3.1 TiN过渡层的制备 | 第26-27页 |
| 2.3.2 金刚石薄膜的制备 | 第27-28页 |
| 2.3.3 DLC膜的制备 | 第28-29页 |
| 2.4 薄膜表征方法 | 第29-30页 |
| 2.4.1 微观形貌表征 | 第29页 |
| 2.4.2 力学性能表征 | 第29页 |
| 2.4.3 结构与成分表征 | 第29-30页 |
| 3 金刚石镀膜针头的表面性能研究 | 第30-39页 |
| 3.1 磁控溅射TIN过渡层 | 第30-35页 |
| 3.1.1 TiN薄膜的物相组成 | 第31-32页 |
| 3.1.2 TiN薄膜的表面形貌 | 第32-33页 |
| 3.1.3 TiN薄膜的表面粗糙度 | 第33-34页 |
| 3.1.4 TiN薄膜的膜基结合力(修改到这里) | 第34-35页 |
| 3.2 HFCVD沉积金刚石薄膜 | 第35-38页 |
| 3.2.1 不同热丝-基材距离沉积的金刚石表面形貌 | 第35-37页 |
| 3.2.2 不同热丝-基材距离沉积的金刚石表面粗糙度 | 第37-38页 |
| 3.3 本章小结 | 第38-39页 |
| 4 金刚石沉积过程中的外场尖端效应 | 第39-51页 |
| 4.1 偏压电场中的基体尖端形变 | 第39-42页 |
| 4.1.1 偏压大小对尖端的影响 | 第39-40页 |
| 4.1.2 针尖尖端形变的计算验证 | 第40-42页 |
| 4.1.3 针尖尖端形变与电荷运动 | 第42页 |
| 4.2 热场中的基体尖端薄膜均匀性变化 | 第42-48页 |
| 4.2.1 不同衬底温度对金刚石薄膜均匀性的影响 | 第42-44页 |
| 4.2.2 同材质片材温度场仿真及分析 | 第44-45页 |
| 4.2.3 尖端温度场仿真及分析 | 第45-48页 |
| 4.3 尖端效应的产生及影响机理 | 第48-50页 |
| 4.3.1 尖端效应的产生机理 | 第48-49页 |
| 4.3.2 尖端效应的影响机理 | 第49-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 5 DLC镀膜针头的表面性能研究和现场实验 | 第51-59页 |
| 5.1 不同偏压下的DLC薄膜表面性能 | 第51-53页 |
| 5.2 DLC镀膜针头现场冲孔实验 | 第53-58页 |
| 5.2.1 镀膜针头尺寸 | 第54-55页 |
| 5.2.2 镀膜针头表面光洁度 | 第55-56页 |
| 5.2.3 镀膜针头冲压性能 | 第56-58页 |
| 5.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 6 结论 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-71页 |
| 个人简历 | 第71-72页 |
| 在学期间研究成果 | 第72页 |