| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 课题背景简介 | 第8-9页 |
| 1.2 MEMS加速度计发展和应用现状 | 第9-15页 |
| 1.3 国内外MEMS动力学特性测试的研究现状 | 第15-18页 |
| 1.4 论文的研究内容和意义 | 第18-20页 |
| 第二章 MEMS加速度计的设计及其性能参数的计算、仿真 | 第20-30页 |
| 2.1 加速度计振动分析 | 第20-23页 |
| 2.2 加速度计刚度、固有频率分析 | 第23-25页 |
| 2.3 加速度计阻尼分析 | 第25-26页 |
| 2.4 加速度计有限元仿真分析 | 第26-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-30页 |
| 第三章 MEMS加速度计的制作工艺研究 | 第30-39页 |
| 3.1 MEMS加速度计的结构和版图设计 | 第30-32页 |
| 3.1.1 MEMS加速度计的结构设计 | 第30-31页 |
| 3.1.2 MEMS加速度计的版图设计 | 第31-32页 |
| 3.2 MEMS加速度计的工艺流程设计 | 第32页 |
| 3.3 MEMS加速度计的制作工艺 | 第32-38页 |
| 3.3.1 硅片的准备 | 第32页 |
| 3.3.2 上电极Cu的制作 | 第32-34页 |
| 3.3.3 刻蚀 | 第34-36页 |
| 3.3.4 下电极W的制作 | 第36页 |
| 3.3.5 键合 | 第36-37页 |
| 3.3.6 焊接引线 | 第37-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 MEMS加速度计动力学特性测试平台的搭建 | 第39-45页 |
| 4.1 测试平台的搭建 | 第39-43页 |
| 4.1.1 测试平台的设计标准 | 第39-40页 |
| 4.1.2 测试平台的搭建 | 第40-43页 |
| 4.2 本章小结 | 第43-45页 |
| 第五章 MEMS加速度计的动力学特性测试分析 | 第45-57页 |
| 5.1 测试原理及方法 | 第45-47页 |
| 5.2 电测法测试 | 第47-48页 |
| 5.3 激光多普勒测试分析 | 第48-55页 |
| 5.3.1 常温常压下加速度计的动力学特性测试分析 | 第48-50页 |
| 5.3.2 变气压下加速度计的动力学特性测试分析 | 第50-54页 |
| 5.3.3 变温度下加速度计的动力学特性测试分析 | 第54-55页 |
| 5.4 本章小结 | 第55-57页 |
| 第六章 结论与展望 | 第57-59页 |
| 6.1 主要结论 | 第57页 |
| 6.2 研究展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 申请学位期间的研究成果及发表的学术论文 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |