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VO2薄膜制备与微观结构及光电性能研究

摘要第3-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第15-32页
    1.1 课题来源及研究的目的和意义第15-16页
    1.2 氧化钒的晶体结构与特性简介第16-21页
        1.2.1 V_2O_5晶体结构与性质第16-17页
        1.2.2 VO_2晶体结构简介第17-18页
        1.2.3 VO_2的相变特征第18-20页
        1.2.4 VO_2相变机理第20-21页
        1.2.5 VO_2相变诱导方式第21页
    1.3 VO_2薄膜制备方法第21-24页
        1.3.1 溶胶-凝胶法第22页
        1.3.2 化学气相沉积法第22页
        1.3.3 脉冲激光沉积法第22-23页
        1.3.4 磁控溅射法第23-24页
    1.4 VO_2薄膜光电性能改性研究第24-27页
        1.4.1 降低相变温度的方法第24-26页
        1.4.2 提高可见光透过率的方法第26-27页
    1.5 VO_2密度泛函理论研究第27-28页
    1.6 VO_2薄膜的应用第28-30页
        1.6.1 智能窗户第28-29页
        1.6.2 光电开关第29页
        1.6.3 红外辐射探测器第29页
        1.6.4 激光防护第29-30页
    1.7 稀土掺杂C12A7上转换发光材料第30页
    1.8 本文的主要研究内容第30-32页
第2章 实验材料与研究方法第32-38页
    2.1 实验材料和试剂第32-33页
    2.2 实验设备与仪器第33-35页
        2.2.1 实验仪器第33页
        2.2.2 薄膜制备和离子束辐照设备第33-35页
        2.2.3 薄膜热处理设备第35页
    2.3 VO_2电子结构及计算参数设置第35-36页
    2.4 测试方法第36-38页
        2.4.1 X射线衍射测试(XRD)第36页
        2.4.2 拉曼光谱测试(Raman)第36页
        2.4.3 X射线光电子能谱测试(XPS)第36页
        2.4.4 原子力显微镜测试(AFM)第36页
        2.4.5 扫描电子显微镜测试(SEM)第36-37页
        2.4.6 电学性能测试第37页
        2.4.7 可见光透过率测试第37页
        2.4.8 上转换荧光光谱测试第37-38页
第3章 VO_2薄膜制备及光电性能研究第38-63页
    3.1 引言第38页
    3.2 V_2O_5热处理制备VO_2热力学分析第38-40页
    3.3 磁控溅射法制备V_2O_5薄膜及其光电性能研究第40-49页
        3.3.1 磁控溅射法制备V_2O_5薄膜工艺流程及实验方案第40-41页
        3.3.2 不同氧分压对薄膜样品结构及组成的影响第41-44页
        3.3.3 溅射时间对氧化钒薄膜结构的影响第44-45页
        3.3.4 溅射时间对氧化钒薄膜表面形貌的影响第45-47页
        3.3.5 溅射时间对氧化钒薄膜可见光透过率的影响第47-48页
        3.3.6 溅射时间对氧化钒薄膜的电学性能影响第48-49页
    3.4 V_2O_5薄膜热处理制备VO_2薄膜及其性能研究第49-61页
        3.4.1 热处理温度对氧化钒薄膜微观结构及光电性能的影响第49-53页
        3.4.2 热处理时间对氧化钒薄膜微观结构及光电性能的影响第53-59页
        3.4.3 采用变温原子力研究VO_2薄膜的相变特性第59-61页
    3.5 本章小结第61-63页
第4章 氩离子辐照对VO_2薄膜微观结构及光电性能的影响第63-86页
    4.1 SRIM软件理论模拟第63-65页
    4.2 离子辐照对VO_2薄膜微观形貌的影响第65-74页
        4.2.1 样品制备第65-66页
        4.2.2 辐照角度对VO_2薄膜微观形貌的影响第66-67页
        4.2.3 辐照能量对VO_2薄膜微观形貌的影响第67-69页
        4.2.4 辐照剂量对VO_2薄膜微观形貌影响第69-71页
        4.2.5 离子辐照影响VO_2薄膜微观机理分析第71-74页
    4.3 颗粒状VO_2薄膜微观结构及光电性能研究第74-80页
        4.3.1 离子辐照对VO_2薄膜结构及组成的影响第74-77页
        4.3.2 离子辐照对VO_2薄膜可见光透过率的影响第77-78页
        4.3.3 离子辐照对VO_2薄膜电学性能的影响第78-80页
    4.4 带状VO_2薄膜微观结构及光电性能研究第80-82页
        4.4.1 带状VO_2薄膜结构分析第80-82页
        4.4.2 带状VO_2薄膜热致相变性能研究第82页
    4.5 离子辐照降低VO_2薄膜相变温度的机理研究第82-84页
    4.6 本章小结第84-86页
第5章 氧空位调控VO_2相变特性及光学性能的理论研究第86-113页
    5.1 引言第86页
    5.2 VO_2(M)与VO_2(R)相转变的理论研究及光学性能分析第86-98页
        5.2.1 计算参数选择第86-87页
        5.2.2 VO_2 (M)与VO_2 (R)相变的理论研究第87-90页
        5.2.3 VO_2 (M)和VO_2 (R)的电子结构研究第90-97页
        5.2.4 VO_2(M)和VO_2(R)的光学性质第97-98页
    5.3 不同氧空位浓度下VO_2 (M)电子结构及光学性能研究第98-107页
        5.3.1 VO_2 (M)氧空位位置的选择第98-100页
        5.3.2 不同氧空位浓度下VO_2 (M)晶格参数变化研究第100-102页
        5.3.3 不同氧空位浓度下VO_2 (M)电子结构第102-106页
        5.3.4 不同氧空位浓度下VO_2 (M)的光学性质第106-107页
    5.4 不同氧空位浓度下VO_2 (R)电子结构及光学性能研究第107-111页
        5.4.1 不同氧空位浓度VO_2 (R)的晶格常数第107页
        5.4.2 不同氧空位浓度VO_2 (R)的电子结构第107-110页
        5.4.3 不同氧空位浓度下VO_2 (R)的光学性质第110-111页
    5.5 本章小结第111-113页
第6章 稀土掺杂C12A7制备及VO_2薄膜光学器件的上转换发光性能研究第113-130页
    6.1 引言第113页
    6.2 稀土掺杂C12A7的制备工艺探索第113-117页
        6.2.1 烧结温度对稀土掺杂C12A7结构及发光性能的影响第114-115页
        6.2.2 烧结时间对稀土掺杂C12A7结构及发光性能的影响第115-117页
    6.3 稀土离子浓度对C12A7多晶片结构及发光性能的影响第117-121页
        6.3.1 稀土掺杂C12A7结构表征第118页
        6.3.2 稀土掺杂C12A7上转换发光光谱测试第118-120页
        6.3.3 稀土掺杂C12A7上转换发光机理第120-121页
    6.4 VO_2薄膜/稀土掺杂的C12A7光学器件的设计及上转换发光性能研究第121-128页
        6.4.1 VO_2薄膜在温度和激光诱导下 980 nm近红外光的变化研究第122-123页
        6.4.2 温度诱导VO_2薄膜/稀土掺杂的C12A7光学器件的上转换发光性能研究第123-126页
        6.4.3 激光诱导VO_2薄膜/稀土掺杂的C12A7光学器件的上转换发光研究第126-128页
    6.5 本章小结第128-130页
结论第130-132页
创新点第132-133页
展望第133-134页
参考文献第134-147页
攻读博士学位期间发表的论文及其它成果第147-150页
致谢第150-151页
个人简历第151页

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