| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 非晶碳膜 | 第9-15页 |
| 1.2.1 非晶碳膜的结构及种类 | 第9-11页 |
| 1.2.2 非晶碳膜的制备方法 | 第11-13页 |
| 1.2.3 非晶碳膜的应用范围 | 第13-14页 |
| 1.2.4 非晶碳膜机械性能优化的研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3 深冷处理 | 第15-17页 |
| 1.3.1 深冷处理的发展及应用 | 第15-16页 |
| 1.3.2 深冷处理的作用机制 | 第16-17页 |
| 1.4 本课题的研究目的、意义及内容 | 第17-19页 |
| 1.4.1 研究目的及意义 | 第17页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第17-18页 |
| 1.4.3 技术路线 | 第18-19页 |
| 第2章 实验材料及实验方法 | 第19-27页 |
| 2.1 基体材料 | 第19页 |
| 2.2 镀膜设备及工艺流程 | 第19-21页 |
| 2.2.1 DLC薄膜的制备 | 第19-20页 |
| 2.2.2 GLC薄膜的制备 | 第20-21页 |
| 2.3 高速钢及非晶碳膜/高速钢复合体系的深冷处理 | 第21页 |
| 2.4 非晶碳膜/高速钢的形貌及结构检测 | 第21-24页 |
| 2.4.1 非晶碳膜/高速钢的形貌分析 | 第21-22页 |
| 2.4.2 非晶碳膜/高速钢的的结构分析 | 第22-24页 |
| 2.4.3 非晶碳膜/高速钢的残余应力测试 | 第24页 |
| 2.5 非晶碳膜/高速钢复合体系的机械性能检测 | 第24-25页 |
| 2.5.1 非晶碳膜/高速钢的膜基结合强度测试 | 第24页 |
| 2.5.2 非晶碳膜/高速钢的摩擦磨损性能测试 | 第24-25页 |
| 2.5.3 非晶碳膜/高速钢的显微硬度测试 | 第25页 |
| 2.6 本章小结 | 第25-27页 |
| 第3章 深冷处理对DLC薄膜/高速钢机械性能的影响及机理研究 | 第27-37页 |
| 3.1 DLC薄膜/高速钢复合体系的微观形貌分析 | 第27-28页 |
| 3.1.1 DLC薄膜的表面形貌 | 第27-28页 |
| 3.1.2 DLC薄膜/高速钢的断面形貌 | 第28页 |
| 3.2 DLC薄膜的成分结构 | 第28-30页 |
| 3.3 DLC薄膜/高速钢的膜基结合强度 | 第30-31页 |
| 3.4 DLC薄膜/高速钢的摩擦磨损性能 | 第31-34页 |
| 3.5 深冷处理对高速钢组织结构的影响 | 第34-36页 |
| 3.5.1 高速钢的组织形貌观察 | 第34页 |
| 3.5.2 高速钢的XRD物相分析 | 第34-35页 |
| 3.5.3 高速钢的残余应力分析 | 第35-36页 |
| 3.6 本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 深冷处理对GLC薄膜/高速钢界面结构及机械性能的影响 | 第37-55页 |
| 4.1 GLC薄膜/高速钢复合体系的微观形貌 | 第37-39页 |
| 4.1.1 GLC薄膜的表面形貌分析 | 第37-38页 |
| 4.1.2 GLC薄膜/高速钢的断面形貌分析 | 第38-39页 |
| 4.2 GLC薄膜/高速钢的成分结构 | 第39-45页 |
| 4.2.1 GLC薄膜的XPS分析 | 第39-41页 |
| 4.2.2 GLC薄膜/高速钢复合体系的TEM分析 | 第41-45页 |
| 4.3 GLC薄膜/高速钢的膜基结合强度 | 第45-47页 |
| 4.4 GLC薄膜/高速钢的摩擦磨损性能 | 第47-52页 |
| 4.4.1 GLC薄膜/高速钢的摩擦磨损曲线 | 第47-48页 |
| 4.4.2 GLC薄膜的磨痕形貌观察 | 第48-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-55页 |
| 第5章 总结与展望 | 第55-57页 |
| 5.1 本文的主要工作及结论 | 第55-56页 |
| 5.2 展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
| 硕士期间发表论文 | 第65页 |
