离子膜蚀刻机的安全控制系统研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 离子膜蚀刻机研究背景 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外离子膜蚀刻技术的发展状况 | 第12-13页 |
| 1.3 课题研究的理论意义和应用前景 | 第13-14页 |
| 1.4 课题研究的内容 | 第14-16页 |
| 第2章 离子膜蚀刻机控制系统概况 | 第16-22页 |
| 2.1 离子膜蚀刻机控制系统的设计理念 | 第16-17页 |
| 2.2 仪器机械设计概述 | 第17-19页 |
| 2.3 控制系统结构 | 第19-20页 |
| 2.4 仪器系统特点 | 第20-22页 |
| 第3章 离子膜蚀刻机温度控制系统 | 第22-42页 |
| 3.1 温度控制系统的理论研究 | 第22页 |
| 3.2 温度控制系统的框架设计 | 第22-23页 |
| 3.3 温度控制系统硬件电路的设计 | 第23-33页 |
| 3.3.1 C8051F340芯片及其外围设计 | 第24-27页 |
| 3.3.2 温度变送模块 | 第27-29页 |
| 3.3.3 三相交流调功电路 | 第29-31页 |
| 3.3.4 键盘与液晶模块 | 第31-33页 |
| 3.4 温度控制系统软件设计 | 第33-42页 |
| 3.4.1 主程序模块 | 第33-35页 |
| 3.4.2 温度采集模块 | 第35-36页 |
| 3.4.3 数字滤波模块 | 第36-37页 |
| 3.4.4 PID控制模块 | 第37-41页 |
| 3.4.5 键盘与液晶模块 | 第41-42页 |
| 第4章 离子膜蚀刻机其他功能参数的控制 | 第42-46页 |
| 4.1 蚀刻池液位的监测 | 第42页 |
| 4.2 伺服电机的控制 | 第42-43页 |
| 4.3 超声波纠偏仪的控制 | 第43-44页 |
| 4.4 放卷收卷张力的控制 | 第44-45页 |
| 4.5 浊液的监测 | 第45-46页 |
| 第5章 实验效果与数据分析 | 第46-54页 |
| 5.1 蚀刻池恒温系统模型的确定 | 第46-47页 |
| 5.2 PID控制的MATLAB仿真 | 第47-50页 |
| 5.3 PID控制效果 | 第50-54页 |
| 第6章 总结和展望 | 第54-56页 |
| 6.1 总结 | 第54-55页 |
| 6.2 展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 作者在就读学位期间的科研成果 | 第60-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
