| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 主要符号说明 | 第8-12页 |
| 1 绪论 | 第12-43页 |
| 1.1 课题背景 | 第12-31页 |
| 1.2 晶体制备过程面临的技术挑战 | 第31-33页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第33-41页 |
| 1.4 本文主要工作 | 第41-43页 |
| 2 晶体制备过程中的热应力 | 第43-53页 |
| 2.1 引言 | 第43页 |
| 2.2 晶体制备过程热应力的产生 | 第43-44页 |
| 2.3 晶体热应力计算 | 第44-50页 |
| 2.4 热应力模型发展及应用 | 第50-52页 |
| 2.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 3 数值模拟方法 | 第53-67页 |
| 3.1 引言 | 第53页 |
| 3.2 MASTRAPP程序计算原理 | 第53-64页 |
| 3.3 COMSOL MULTIPHYSICS软件模拟流程 | 第64-66页 |
| 3.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 4 多晶硅铸锭过程的数值研究 | 第67-93页 |
| 4.1 引言 | 第67页 |
| 4.2 多晶硅定向凝固系统 | 第67-68页 |
| 4.3 数学模型 | 第68-72页 |
| 4.4 计算结果分析 | 第72-91页 |
| 4.5 本章小结 | 第91-93页 |
| 5 泡生法蓝宝石单晶生长的数值研究 | 第93-120页 |
| 5.1 引言 | 第93页 |
| 5.2 泡生法蓝宝石单晶生长系统 | 第93-95页 |
| 5.3 数学模型 | 第95-99页 |
| 5.4 计算结果分析 | 第99-118页 |
| 5.5 本章小结 | 第118-120页 |
| 6 全文总结与工作展望 | 第120-123页 |
| 6.1 本文工作总结 | 第120-122页 |
| 6.2 下一步工作展望 | 第122-123页 |
| 致谢 | 第123-124页 |
| 参考文献 | 第124-138页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表的主要论文 | 第138-139页 |
| 附录2 博士生期间授权专利情况 | 第139-140页 |
| 附录3 博士生期间参与课题情况 | 第140页 |