| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-16页 |
| 1.1 课题研究背景和意义 | 第7-8页 |
| 1.2 热膜式气体流量传感器简介 | 第8-10页 |
| 1.2.1 热膜式气体流量传感器工作原理 | 第8-9页 |
| 1.2.2 热膜式气体流量传感器受污染和污染对精度的影响分析研究 | 第9-10页 |
| 1.3 颗粒物沉积的国内外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.3.1 颗粒物沉积机理方面的研究 | 第10-11页 |
| 1.3.2 颗粒物的运动特性和沉积的数值模拟研究 | 第11-12页 |
| 1.3.3 热泳运动和热泳沉积方面的研究 | 第12-14页 |
| 1.3.4 颗粒物沉积实验研究 | 第14页 |
| 1.4 本文研究的主要内容 | 第14-16页 |
| 2 热膜式流量传感器内气相流场和温度场数值模拟分析 | 第16-33页 |
| 2.1 气体基本方程及其运动控制方程 | 第16-17页 |
| 2.1.1 热膜式流量传感器内气相流动的基本方程 | 第16页 |
| 2.1.2 热膜式流量传感器中气相连续性方程 | 第16-17页 |
| 2.1.3 热膜式流量传感器内气相动量方程 | 第17页 |
| 2.1.4 热膜式流量传感器内气相能量方程 | 第17页 |
| 2.2 热膜式气体流量传感器物理模型 | 第17-20页 |
| 2.2.1 热膜气体流量传感器几何模型 | 第17-19页 |
| 2.2.2 几何模型网格划分 | 第19-20页 |
| 2.3 热膜式气体流量传感器数学模型 | 第20-25页 |
| 2.3.1 热膜式流量传感器内流动参数的计算 | 第20-22页 |
| 2.3.2 热膜式流量传感器内气体流动模型选取 | 第22-23页 |
| 2.3.3 热膜式流量传感器内温度场数学模型 | 第23-25页 |
| 2.4 热膜式流量传感器气相流场的数值模拟与分析 | 第25-29页 |
| 2.5 热膜式流量传感器内温度场的数值模拟与分析 | 第29-32页 |
| 2.6 本章小结 | 第32-33页 |
| 3 温度场对热膜式流量传感器热膜芯片上粒子沉积影响数值分析 | 第33-59页 |
| 3.1 两相流的研究和处理方法 | 第34页 |
| 3.2 气固两相流动模型 | 第34-35页 |
| 3.2.1 欧拉-欧拉模型 | 第34-35页 |
| 3.2.2 欧拉-拉格朗日模型 | 第35页 |
| 3.3 拉格朗日离散相模型及其控制方程 | 第35-41页 |
| 3.3.1 热膜式流量传感器中颗粒动力学分析 | 第36-40页 |
| 3.3.2 热膜式流量传感器内气体相控制方程 | 第40-41页 |
| 3.3.3 热膜式流量传感器内固相控制方程 | 第41页 |
| 3.4 温度场对热膜式流量传感器内颗粒物粒子沉积影响研究 | 第41-58页 |
| 3.4.1 热泳力作用时热膜式流量传感器内固相浓度和沉积速率分布云图分析 | 第42-48页 |
| 3.4.2 温度场对传感器中颗粒物沉积影响情况研究 | 第48-58页 |
| 3.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 4 温度场对传感器热膜芯片附近粒子沉积影响的实验研究 | 第59-66页 |
| 4.1 实验原理及方法 | 第59-63页 |
| 4.1.1 实验系统介绍 | 第61-62页 |
| 4.1.2 实验内容 | 第62-63页 |
| 4.2 温度场对热膜芯片上粒子沉积的影响情况分析 | 第63-65页 |
| 4.3 本章小结 | 第65-66页 |
| 5 总结和展望 | 第66-68页 |
| 5.1 本文总结 | 第66-67页 |
| 5.2 课题展望 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 附录 | 第73页 |
