玻璃表面制备类金刚石薄膜的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 DLC膜的发展 | 第11-12页 |
| 1.3 DLC膜的结构 | 第12-13页 |
| 1.4 DLC薄膜的性能与应用 | 第13-17页 |
| 1.4.1 机械性能与应用 | 第14页 |
| 1.4.2 光学性能与应用 | 第14-15页 |
| 1.4.3 电学性能与应用 | 第15-16页 |
| 1.4.4 生物医学性能与应用 | 第16页 |
| 1.4.5 其他性能与应用 | 第16-17页 |
| 1.5 DLC薄膜的制备方法 | 第17-21页 |
| 1.5.1 物理气相沉积法 | 第17-19页 |
| 1.5.2 化学气相沉积法 | 第19-21页 |
| 1.6 DLC薄膜应用研究中存在的问题 | 第21页 |
| 1.7 本文研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 实验设备与表征手段 | 第23-31页 |
| 2.1 MPCVD设备及特点 | 第23-25页 |
| 2.2 MPCVD设备的结构 | 第25-26页 |
| 2.2.1 微波系统 | 第25页 |
| 2.2.2 气路、真空系统 | 第25页 |
| 2.2.3 水冷、控制系统 | 第25-26页 |
| 2.3 基片的预处理 | 第26页 |
| 2.4 DLC薄膜的制备工艺 | 第26-29页 |
| 2.4.1 沉积DLC薄膜的操作过程 | 第26-27页 |
| 2.4.2 DLC薄膜的制备工艺参数 | 第27-29页 |
| 2.5 实验样品表征 | 第29-31页 |
| 2.5.1 X射线光电子能谱 | 第29页 |
| 2.5.2 拉曼光谱 | 第29-30页 |
| 2.5.3 紫外可见光分光光度计 | 第30页 |
| 2.5.4 场发射扫描电子显微镜 | 第30页 |
| 2.5.5 旋转摩擦实验 | 第30-31页 |
| 第3章 DLC薄膜的制备工艺研究 | 第31-51页 |
| 3.1 DLC薄膜的XPS分析 | 第31-36页 |
| 3.1.1 不同微波功率DLC薄膜的XPS分析 | 第32-33页 |
| 3.1.2 不同沉积时间DLC薄膜的XPS分析 | 第33-35页 |
| 3.1.3 不同沉积气压DLC薄膜的XPS分析 | 第35-36页 |
| 3.2 DLC薄膜的扫描形貌分析 | 第36-38页 |
| 3.3 DLC薄膜的光透过率分析 | 第38-40页 |
| 3.3.1 不同微波功率DLC薄膜光透过率分析 | 第38-39页 |
| 3.3.2 不同沉积时间DLC薄膜光透过率分析 | 第39页 |
| 3.3.3 不同沉积气压DLC薄膜光透过率分析 | 第39-40页 |
| 3.4 DLC薄膜的拉曼分析 | 第40-45页 |
| 3.4.1 不同微波功率DLC薄膜拉曼分析 | 第41-42页 |
| 3.4.2 不同沉积时间DLC薄膜拉曼分析 | 第42-43页 |
| 3.4.3 不同沉积气压DLC薄膜拉曼分析 | 第43-45页 |
| 3.5 DLC薄膜的摩擦性能分析 | 第45-49页 |
| 3.5.1 不同微波功率DLC薄膜摩擦性能分析 | 第47-48页 |
| 3.5.2 不同沉积时间DLC薄膜摩擦性能分析 | 第48-49页 |
| 3.5.3 不同沉积气压DLC薄膜摩擦性能分析 | 第49页 |
| 3.6 本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 总结与展望 | 第51-55页 |
| 4.1 本文结论 | 第51-53页 |
| 4.2 全文展望 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-61页 |
| 攻读硕士期间已发表的论文 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
