散射扫描法光学元件表面疵病检测技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| ·光学元件表面疵病的概念 | 第9-10页 |
| ·光学元件表面疵病的标准 | 第10-12页 |
| ·国家标准 | 第10-11页 |
| ·国外标准 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·机器视觉的发展 | 第13页 |
| ·本论文研究的主要内容 | 第13-15页 |
| 2 光散射理论概述 | 第15-19页 |
| ·光学元件表面散射体 | 第15-16页 |
| ·精密表面缺陷的光学显微散射理论分析 | 第16-17页 |
| ·散射光成像检测原理 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 3 光学元件表面疵病检测系统设计 | 第19-35页 |
| ·检测系统模型的设计 | 第19-20页 |
| ·照明系统的设计 | 第20-23页 |
| ·光源的选取 | 第20-22页 |
| ·光源照射角度及照度的影响 | 第22-23页 |
| ·显微成像系统的选取 | 第23-29页 |
| ·镜头的相关知识 | 第23-24页 |
| ·图像传感器 | 第24-27页 |
| ·镜头参数计算及图像传感的选择 | 第27-29页 |
| ·扫描部分的设计 | 第29-34页 |
| ·环形扫描方案的设计 | 第30-31页 |
| ·扫描参数的计算 | 第31-33页 |
| ·扫描平台的选取 | 第33-34页 |
| ·实验平台的搭建 | 第34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 4 子孔径图像的拼接 | 第35-45页 |
| ·图像拼接的步骤 | 第35-37页 |
| ·图像的匹配 | 第36页 |
| ·图像的融合 | 第36-37页 |
| ·基于图像特征分类的拼接算法 | 第37-44页 |
| ·算法的整体流程概述 | 第37-38页 |
| ·子孔径图像的预处理与识别 | 第38-42页 |
| ·分层次的图像拼接 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 5 图像处理的关键技术 | 第45-57页 |
| ·图像增强 | 第45-48页 |
| ·图像的滤波 | 第48-50页 |
| ·线性空间滤波 | 第49页 |
| ·非线性空间滤波 | 第49-50页 |
| ·二值化 | 第50-51页 |
| ·图像分割 | 第51-55页 |
| ·微分算子法 | 第51-53页 |
| ·LoG算子 | 第53页 |
| ·Canny算子 | 第53-55页 |
| ·图像处理的GUI界面 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 6 检测结果的处理 | 第57-65页 |
| ·疵病图像中子区域的标记 | 第57-58页 |
| ·疵病的图像特征 | 第58-60页 |
| ·疵病的几何统计特征 | 第58-59页 |
| ·疵病几何形状特征的测量 | 第59-60页 |
| ·疵病的标定 | 第60-63页 |
| ·光学元件表面疵病检测的误差源分析 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 7 结论与展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
