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光束整形异形元件的加工工艺研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
目录第6-7页
第一章 绪论第7-11页
   ·引言第7页
   ·国内外发展现状第7-9页
   ·论文研究的主要内容第9-11页
第二章 非球柱面加工检测技术的理论基础第11-19页
   ·非球面的分类第11页
   ·非球柱面镜加工方法第11-14页
   ·非球柱面镜的检测方法第14-15页
   ·加工理论中数学模型的建立第15-19页
第三章 异形元件的研抛误差分析与工艺研究第19-35页
   ·铣磨阶段误差的控制第19-25页
   ·非球柱面铣磨工艺参数的研究第25-28页
   ·抛光工艺参数优化第28-31页
   ·检测参数优化第31-35页
第四章 异形元件加工过程及结果分析第35-44页
   ·DIFFSYS Version软件的模拟仿真第35页
   ·非球柱面镜的加工第35-39页
   ·柱面镜的加工第39-41页
   ·柱线的调整与检测第41-42页
   ·检测结果误差分析第42-44页
第五章 总结第44-45页
致谢第45-46页
参考文献第46-47页

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