基于微带环缝谐振器的小功率微波微等离子体特性的研究
| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| ·课题研究背景和意义 | 第12-13页 |
| ·国内外研究现状 | 第13-18页 |
| ·国外研究现状 | 第13-16页 |
| ·国内研究现状 | 第16-18页 |
| ·论文的研究内容和创新点 | 第18-19页 |
| ·论文的组织结构 | 第19-20页 |
| 第二章 微波微等离子体的基本理论 | 第20-25页 |
| ·微等离子体的基本概念 | 第20-21页 |
| ·磁场对微等离子体的作用 | 第21-23页 |
| ·微等离子体放电技术 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 基于微带环缝谐振器的微波微等离子体源 | 第25-34页 |
| ·微带环缝谐振器的工作原理 | 第25-26页 |
| ·微带环缝谐振的实物制作与仿真分析 | 第26-28页 |
| ·工作模式与等效模型 | 第28-30页 |
| ·工作模式 | 第28-29页 |
| ·等效模型 | 第29-30页 |
| ·输入阻抗和微等离子体阻抗 | 第30-32页 |
| ·输入阻抗 | 第30-31页 |
| ·微等离子体阻抗 | 第31-32页 |
| ·光谱分析法 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 空气放电的微波微等离子体实验与分析 | 第34-53页 |
| ·实验系统及其工作原理 | 第34-35页 |
| ·微波微等离子体实验 | 第35-42页 |
| ·无磁场时微波微等离子体实验数据 | 第36-37页 |
| ·加磁铁360G微波微等离子体实验数据 | 第37-39页 |
| ·加磁铁990G微波微等离子体实验数据 | 第39-40页 |
| ·加磁铁2840G微波微等离子体实验数据 | 第40-42页 |
| ·微波微等离子体数据分析 | 第42-52页 |
| ·输入功率随空气压强变化 | 第42-45页 |
| ·反射系数随频率的变化 | 第45-47页 |
| ·光谱分析 | 第47-50页 |
| ·压强对放电区域的影响 | 第50-51页 |
| ·温度与电磁兼容性 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 氩气放电的微波微等离子体实验与分析 | 第53-70页 |
| ·实验系统及其工作原理 | 第53-54页 |
| ·微波微等离子体实验 | 第54-61页 |
| ·无磁场时微波微等离子体实验数据 | 第54-56页 |
| ·加磁铁990G微波微等离子体实验数据 | 第56-58页 |
| ·加磁铁2840G微波微等离子体实验数据 | 第58-61页 |
| ·微波微等离子体数据分析 | 第61-69页 |
| ·微等离子体加磁铁前后的激励情况 | 第62-64页 |
| ·反射系数随频率的变化 | 第64-66页 |
| ·光谱分析 | 第66-67页 |
| ·输入功率对电子密度的影响 | 第67-68页 |
| ·微波微等离子体源的腐蚀性 | 第68页 |
| ·温度分析 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 总结和工作展望 | 第70-72页 |
| 研究生期间发表论文 | 第72-73页 |
| 附录 英文缩略语 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
