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GaN/PEDOT:PSS混合肖特基二极管特性研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-7页
第一章 绪论第7-15页
   ·引言第7-8页
   ·GaN 材料的基本特性第8-9页
     ·GaN 材料的基本结构第8-9页
     ·GaN 材料的品质因数第9页
   ·GaN 器件的应用研究第9-11页
   ·PEDOT:PSS 的应用第11-12页
   ·本论文的研究内容第12-15页
第二章 肖特基接触结构的基本理论第15-27页
   ·金属和半导体的接触第15-17页
   ·肖特基势垒的形成第17-22页
     ·Schotty-Mott 理论第17-20页
     ·镜像力势垒下降第20-22页
     ·隧穿效应第22页
   ·肖特基接触的电流输运机制第22-25页
     ·热电子发射理论第22-24页
     ·扩散理论第24页
     ·隧道电流的影响第24-25页
   ·本章小结第25-27页
第三章 GaN/PEDOT:PSS 肖特基二极管第27-41页
   ·PEDOT:PSS 材料的基本性质第27-28页
   ·PEDOT:PSS 薄膜的制备过程第28-32页
     ·旋涂工艺第28-29页
     ·GaN 表面预处理与薄膜制备第29页
     ·预处理对薄膜的影响第29-32页
   ·薄膜电阻率和厚度与转速的关系第32-34页
   ·GaN/PEDOT:PSS 肖特基结第34-39页
     ·GaN/PEDOT:PSS 肖特基二极管的基本结构第34-35页
     ·GaN/PEDOT:PSS 的制备过程第35-36页
     ·GaN/PEDOT:PSS 肖特基结的能带图第36-37页
     ·GaN/PEDOT:PSS 的参数提取第37-39页
   ·本章总结第39-41页
第四章:GaN/PEDOT:PSS 肖特基结的实验结果第41-57页
   ·半导体表面特性对肖特基接触的影响第41-44页
     ·半导体界面态的引入机制第41页
     ·界面态对肖特基接触影响的基本理论第41-44页
   ·实验方案第44页
   ·采用不同表面处理技术提高肖特基接触 I-V 特性第44-52页
     ·氧气等离子处理对肖特基接触 I-V 特性的影响第45-47页
     ·不同溶液处理对肖特基接触 I-V 特性的影响第47-50页
     ·不同表面处理后理想因子参数的对比第50-52页
   ·退火对 GaN/PEDOT:PSS 肖特基接触特性的影响研究第52-54页
   ·本章总结第54-57页
第五章 总结与展望第57-61页
致谢第61-63页
参考文献第63-67页
研究成果第67-68页

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